[实用新型]一种静态腐蚀实验槽有效
申请号: | 201821455461.8 | 申请日: | 2018-09-06 |
公开(公告)号: | CN208721554U | 公开(公告)日: | 2019-04-09 |
发明(设计)人: | 陈健;李晖 | 申请(专利权)人: | 南通海星电子股份有限公司;南通海一电子有限公司;宁夏海力电子有限公司 |
主分类号: | G01N17/00 | 分类号: | G01N17/00 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 吴惠松 |
地址: | 226000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蒸汽加热盘管 冷却水盘管 槽架 本实用新型 温度传感器 静态腐蚀 实验槽 冷却水电磁阀 槽体两侧 槽体内部 石墨电极 温控仪表 蒸汽阀门 均匀性 循环泵 槽体 槽液 紧凑 体内 相通 腐蚀 | ||
本实用新型公开了一种静态腐蚀实验槽,包括槽体,槽体内设有槽架,槽架上设有石墨电极,槽体内部还设有蒸汽加热盘管和冷却水盘管,槽架一侧设有温度传感器,蒸汽加热盘管、温度传感器和冷却水盘管均与温控仪表连接,槽体两侧均与循环泵相通,蒸汽加热盘管和冷却水盘管分别由蒸汽阀门和冷却水电磁阀控制;本实用新型具有以下优点:结构简单、紧凑,大大提高了温度控制的准确性和均匀性,同时解决腐蚀中槽液成分不均的问题。
技术领域
本实用新型涉及一种静态腐蚀实验槽。
背景技术
腐蚀箔的生产技术是电子铝箔制造中的核心技术,腐蚀工艺的主要目的是在腐蚀箔表面刻蚀出大量微小孔洞,孔洞结构直接决定了最终产品的主要性能参数。由于腐蚀箔生产具有影响因素多,机台结构复杂,投资成本高等特点,为减少研发成本在研发过程中一般会先进行静态腐蚀实验,其中静态腐蚀实验槽的结构与静态实验结果的可靠性紧密相关,现有实验槽一般采用水浴加热,自然热对流搅拌的方式,如图1所示,存在的主要问题有:由于腐蚀过程存在发热,温度控制不准确,槽液成分不均匀等问题,采用加热管加电存在安全隐患。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服以上不足之处,提供一种结构简单、紧凑,大大提高了温度控制的准确性和均匀性,同时解决腐蚀中槽液成分不均的问题的静态腐蚀实验槽。
本实用新型的目的通过以下技术方案来实现:一种静态腐蚀实验槽,包括槽体,槽体内设有槽架,槽架上设有石墨电极,槽体内部还设有蒸汽加热盘管和冷却水盘管,槽架一侧设有温度传感器,蒸汽加热盘管、温度传感器和冷却水盘管均与温控仪表连接,槽体两侧均与循环泵相通,蒸汽加热盘管和冷却水盘管分别由蒸汽阀门和冷却水电磁阀控制。
综上所述,本实用新型具有以下优点:结构简单、紧凑,大大提高了温度控制的准确性和均匀性,同时解决腐蚀中槽液成分不均的问题。
附图说明
图1为原始结构腐蚀槽的结构图;
图2为本实用新型的结构图;
图中标号:1-槽体、2-槽架、3-蒸汽加热盘管、4-石墨电极、5-温度传感器、6-冷却水盘管、7-温控仪表、8-循环泵。
具体实施方式
为了加深对本实用新型的理解,下面将结合实施例和附图对本实用新型作进一步详述,该实施例仅用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型保护范围的限定。
如图2所示的一种静态腐蚀实验槽,包括槽体1,槽体1内设有槽架2,槽架2上设有石墨电极4,槽体1内部还设有蒸汽加热盘管3和冷却水盘管6,槽架2一侧设有温度传感器5,蒸汽加热盘管3、温度传感器5和冷却水盘管6均与温控仪表7连接,槽体1两侧均与循环泵8相通,蒸汽加热盘管3和冷却水盘管6分别由蒸汽阀门和冷却水电磁阀控制。当温度高于温控仪表7设置温度时冷却水电磁阀打开,蒸汽阀门关闭,当温度低于设置温度时蒸汽阀门打开,同时冷却水电磁阀关闭。
为保证槽液均匀,还设置有辅助循环系统,即循环泵8,在循环泵8的作用下槽液不断进行搅拌,保证槽液温度与成分的均匀性。
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