[实用新型]电弧检测等离子处理装置

权利要求书

1.一种电弧检测等离子处理装置，其特征在于，所述处理装置包括可编程序控制器、可控高压脉冲电源、罗茨风机、等离子腔体、高压变压器、光纤透镜、石英导光柱以及电弧检测器，所述罗茨风机通过送风软管连接等离子腔体，所述高压脉冲电源通过高压变压器连接等离子腔体，所述石英导光柱一端直接连接到等离子腔体内喷嘴，采集放电过程中产生的电弧光信号，另一端紧密连接到光纤透镜，来自等离子腔体内的电弧光，通过光纤传送到电弧检测器，检测结果送至可编程序控制器，所述可编程序控制器将控制信号发送至可控高压脉冲电源。

2.根据权利要求1所述的电弧检测等离子处理装置，其特征在于，所述电弧检测器包括受光元件、灵敏度调节电路、电压比较器、RC延时电路、驱动电路、基准恒压源、三端稳压器以及指示灯，所述受光元件通过灵敏度调节电路连接电压比较器，基准恒压源连接电压比较器的输入，输出通过RC延时电路连接驱动电路，所述驱动电路产生工作电平输出，连接指示灯和三端稳压器。

3.根据权利要求2所述的电弧检测等离子处理装置，其特征在于，所述可控高压脉冲电源由220V交流供电，工作时高压变压器能获得高频高压脉冲信号，该信号传送到高压电极（1），所述高压电极位于等离子腔体内。

4.根据权利要求3所述的电弧检测等离子处理装置，其特征在于，所述受光元件选用波长400~1000nm的光敏二极管，在5V的反向电压下工作。

5.根据权利要求2所述的电弧检测等离子处理装置，其特征在于，所述灵敏度调节电路使用可调电阻器改变光电流转换成的电压信号，实现灵敏度调节。

6.根据权利要求2所述的电弧检测等离子处理装置，其特征在于，所述检测器中的基准恒压源采用电压基准芯片LM385B-1.2V，电压比较电器采用集成芯片LM393。

7.根据权利要求2所述的电弧检测等离子处理装置，其特征在于，检测器中的驱动电路为NPN型功率三极管，指示灯为LED发光二极管。

8.根据权利要求2所述的电弧检测等离子处理装置，其特征在于，所述等离子腔体内设置有等离子喷口，通过等离子电源将高压引入内喷口，产生等离子电弧。