[实用新型]等离子喷枪、旋转靶材等离子处理系统

说明书

本实用新型公开了一种等离子喷枪，包括喷嘴、等离子腔室、通气管道、冷却气管和工艺气体管；喷嘴、等离子腔室和通气管道依次连接，冷却气管与通气管道连通，通气管道的外壁上设置有冷却气排气孔，工艺气体管穿过通气管道与等离子腔室连通。还公开了旋转靶材等离子处理系统。本实用新型的等离子喷枪，通过向通气管道通入冷却气，从而克服前端高温向后端蔓延的问题；本实用新型的系统通过喷枪支撑件调整喷嘴位置，通过旋转靶材支撑件带动旋转靶材转动，实现旋转靶材内部和表面的清洗。

技术领域

本实用新型涉及一种等离子喷枪、旋转靶材等离子处理系统，属于靶材处理设备技术领域。

背景技术

现在市面上有很多等离子清洗机，也叫等离子表面处理仪，清洗旋转靶材必须有1200~1800℃高温才能完成，这种设备的喷枪结构前端高温容易向后端蔓延。因此现有等离子清洗机无法对旋转靶材进行清洗。

现在的靶材清洗还是采用传统的清洗，即将旋转靶材放入超声波清洗机中，先用酒精、丙酮等对旋转靶材进行约10分钟的清洗，然后使用纯水将靶材表面的酒精或丙酮洗掉后风干，接着采用真空等离子清洗机，通入4种特殊气体，在真空腔室内处理30分钟。

但是传统的清洗方案存在以下缺点：

1、工艺设备多，必须使用2台超声波清洗机和一台真空等离子清洗机，使用有毒的丙酮作为清洗剂，后续使用清水作为清洗剂去除丙酮会产生有毒废水；

2、无法在线自动化生产，通入的4种特殊气体都是特殊气体，其中2种是有毒有害气体。

因此现在急需一种针对旋转靶材的清洗装置。

实用新型内容

本实用新型提供了一种等离子喷枪、旋转靶材等离子处理系统，克服了现有清洗装置的问题，使其适用于旋转靶材。

为了解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：

等离子喷枪，包括喷嘴、等离子腔室、通气管道、冷却气管和工艺气体管；喷嘴、等离子腔室和通气管道依次连接，冷却气管与通气管道连通，通气管道的外壁上设置有冷却气排气孔，工艺气体管穿过通气管道与等离子腔室连通。

喷嘴为倾斜喷嘴。

等离子腔室也倾斜设置，等离子腔室相对于通气管道的倾斜度小于喷嘴相对于通气管道的倾斜度。

等离子腔室内壁与内置电极之间设置若干倾斜45度的进气孔，所有进气孔排列成圆。

冷却气排气孔位于通气管道外壁的后端。

旋转靶材等离子处理系统，包括壳体和控制器，壳体为可开合的壳体，壳体内设置有喷枪支撑件和旋转靶材支撑件，旋转靶材支撑件用以支撑旋转靶材，并在旋转驱动件的驱动下带动旋转靶材旋转，喷枪支撑件为可升降支撑件，喷枪支撑件上滑移设置有等离子喷枪，等离子喷枪在滑移驱动件的驱动下滑移，控制器控制旋转驱动件启闭、滑移驱动件启闭、喷枪支撑件升降以及等离子喷枪启闭。

旋转靶材支撑件包括相对设置的两个托辊，至少一个托辊在旋转驱动件的驱动下旋转。

壳体内设置有分隔板，喷枪支撑件和旋转靶材支撑件均设置在分隔板顶面上。

本实用新型所达到的有益效果：1、本实用新型的等离子喷枪，通过向通气管道通入冷却气，从而克服前端高温向后端蔓延的问题；2、本实用新型将喷嘴设置为倾斜式，通过喷枪支撑件调整喷嘴位置，通过旋转靶材支撑件带动旋转靶材转动，实现旋转靶材内部和表面的清洗。

附图说明

图1为等离子喷枪的结构示意图；

图2为等离子喷枪的剖视图；

图3为等离子腔室的进气口的结构图；