[实用新型]多晶硅废水零排放系统

说明书

本实用新型公开了一种多晶硅废水零排放系统，包括不含氯离子的酸性废水处理系统和含氯离子的酸性废水处理系统；所述不含氯离子的酸性废水处理系统包括依次连接的污水处理系统I、中水回用系统；所述中水回用系统与冷却塔之间设置有回水管I；所述含氯离子的酸性废水处理系统包括依次连接的污水处理系统II、高盐废水浓缩系统；所述污水处理系统II处理与生产系统之间设置有回水管II；所述高盐废水浓缩系统与冷却塔之间设置有回水管III；所述中水回用系统中反渗透装置与生产系统之间设置有浓水输送管。实现了废水闭环处理、零排放。整个处理系统对周边环境污染小、水资源用量相对于之前大大减少、处理成本也大大降低。

技术领域

本实用新型涉及一种多晶硅生产过程中废水的处理系统。

背景技术

多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。

多晶硅生产过程中产生的废水可分为两部分：含氯离子的酸性废水与不含氯离子的酸性废水。

不含氯离子的酸性废水主要来源于：闭式冷却塔系统排污水(循环水浓缩倍数为5倍)、后处理清洗产品的硝酸废水。含氯离子的废水来源于：生产过程中产生的含氯离子的废渣通过水溶解及生产过程中产生的氯化氢、氯硅烷废气通过水吸收形成的含氯离子的酸性废水。

现有含氯离子废水处理方式有以下三种方式：

1、通过晒盐的方式蒸发处理(对周边环境污染严重)。

2、用大量工业水进行稀释，达到国家排放标准后直接外排。(浪费大量水资源)

3、送至专业污水处理厂进行净化处理(成本过高)

不含氯离子废水处理方式：经过中和、净化后达到国家排放标准后直接排放。

由此可见，上述处理废水的方式要么成本过高、要么二次污染严重、要么严重浪费水资源。因此急需一种成本低廉、环境污染小的废水处理方式。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种多晶硅废水零排放系统，将多晶硅生产过程中产生的含氯离子和不含氯离子的酸性废水分别处理后循环使用，使得废水零排放。

为解决以上技术问题，本实用新型的技术方案为：一种多晶硅废水零排放系统，包括不含氯离子的酸性废水处理系统和含氯离子的酸性废水处理系统；

所述不含氯离子的酸性废水处理系统包括依次连接的污水处理系统I、中水回用系统；所述污水处理系统I包括依次连接的中和反应器、沉降装置、气浮装置；所述中水回用系统包括依次连接的多介质过滤器、超滤装置、反渗透装置；所述中水回用系统与冷却塔之间设置有回水管I；

所述含氯离子的酸性废水处理系统包括依次连接的污水处理系统II、高盐废水浓缩系统；所述污水处理系统II包括依次连接的中和反应器、沉降装置、气浮装置；所述高盐废水浓缩系统包括依次连接的MVR浓缩装置、三效浓缩结晶装置；所述污水处理系统II处理与生产系统之间设置有回水管II；所述高盐废水浓缩系统与冷却塔之间设置有回水管III；

所述中水回用系统中反渗透装置与生产系统之间设置有浓水输送管。

作为一种改进，所述污水处理系统I中还包括为反应器添加强碱和为沉降装置添加絮凝剂的加药装置。

作为一种改进，所述污水处理系统II中还包括为反应器添加强碱和为沉降装置添加絮凝剂的加药装置。

作为一种改进，所述回水管I和回水管II相连。由于回水管I与回水管II均通达冷却塔，因此可以将回水管I和回水管II相连以节约管道布置。