[实用新型]拉晶炉用取晶笼装置有效
申请号: | 201821431012.X | 申请日: | 2018-09-03 |
公开(公告)号: | CN208701247U | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 张建新 | 申请(专利权)人: | 宁夏旭樱新能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人: | 周晓梅 |
地址: | 753000 宁夏回族*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半体 支撑体 晶棒 拉晶炉 笼装置 本实用新型 空心圆柱体 水平支撑件 地面热量 活动设置 开合设置 竖直放置 相对活动 相对设置 铰接件 开合件 容纳体 污染 支撑 | ||
本实用新型提出一种拉晶炉用取晶笼装置,包括第一半体、第二半体、第一支撑体、第二支撑体,第一半体和第二半体相对设置,以形成用于放置晶棒的空心圆柱体,第一半体和第二半体的一侧具有铰接件,另一侧具有开合件,第一支撑体和第二支撑体沿着晶棒长度方向活动设置于第一半体的下方,用于支撑第一半体和第二半体,相对开合设置的第一半体和第二半体,不仅形成了放置晶棒的空心容纳体,而且第一支撑体和第二支撑体形成了水平支撑件,晶棒水平放置能够增加其放置稳定性,还能使晶棒保持与地面较高的距离,避免地面热量和杂质的污染,而且相对活动设置的支撑体能够满足取晶笼随意水平放置或竖直放置的需求。
技术领域
本实用新型涉及单晶棒生产辅助设备技术领域,尤其涉及一种拉晶炉用取晶笼装置。
背景技术
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备,而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的单晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。
单晶炉用取晶笼装置的作用如下:在硅单晶拉制完成后,将晶棒放入取晶笼内,采用取晶笼装置可将晶棒取出、搬运到工作平台上,从而降低晶棒搬运损坏的风险。目前市面上很多单晶炉都采用简易的取晶笼,容易造成晶棒取出困难,移动不方便、晶棒易掉落损坏等现象。
发明内容
有必要提出一种方便取放和移动的拉晶炉用取晶笼装置。
一种拉晶炉用取晶笼装置,包括第一半体、第二半体、第一支撑体、第二支撑体,第一半体和第二半体相对设置,以形成用于放置晶棒的空心圆柱体,第一半体和第二半体的一侧具有铰接件,另一侧具有开合件,第一支撑体和第二支撑体沿着晶棒长度方向活动设置于第一半体的下方,用于支撑第一半体和第二半体。
优选的,所述第一半体和第二半体具有相同结构,第一半体包括若干轴向拉杆、径向弧形拉杆、收口弧形拉杆,若干轴向拉杆沿着晶棒长度方向等间距设置,若干弧形撑杆沿着晶棒径向方向等间距设置,轴向拉杆和径向弧形拉杆相对固定连接,以形成放置晶棒的空心半圆柱体,收口弧形拉杆设置与若干轴向拉杆的端部,收口弧形拉杆的长度小于径向弧形拉杆的长度,且收口弧形拉杆向空心半圆柱体内部缩进,以使收口弧形拉杆与端部的径向弧形拉杆之间形成容纳晶棒尖端的空间。
优选的,分别在位于最外侧的第一半体的两个轴向拉杆上设置铰接件和开合件,分别在位于最外侧的第二半体的两个轴向拉杆上设置铰接件和开合件,第一半体的铰接件与第二半体的铰接件铰接,第一半体的开合件与第二半体的开合件插接。
优选的,所述第一支撑体和第二支撑体具有相同结构,第一支撑体包括弧形撑杆、竖向撑杆、横向撑杆,弧形撑杆、竖向撑杆、横向撑杆依次首尾连接形成支撑框架,所述弧形撑杆的形状与第一半体的外壁形状匹配,用于放置第一半体。
优选的,还在所述第一支撑体和第二支撑体的底部设置滚轮,以实现活动移动。
优选的,还在所述第一半体的轴向拉杆、径向弧形拉杆、收口弧形拉杆的外表面以及第二半体的轴向拉杆、径向弧形拉杆、收口弧形拉杆的外表面设置柔性保护层,避免晶棒被机械损伤。
优选的,所述拉晶炉用取晶笼装置还第三支撑体,第三支撑体为刚性框架,所述刚性框架沿着第一半体和第二半体的径向方向设置于其外壁上,第三支撑体的下表面与第一半体和第二半体的轴向拉杆垂直,以将所述拉晶炉用取晶笼装置支撑于外部二层平台上。
相对开合设置的第一半体和第二半体,不仅形成了放置晶棒的空心容纳体,而且通过相对打开的方向方便了晶棒的取放,第一支撑体和第二支撑体形成了水平支撑件,晶棒水平放置能够增加其放置稳定性,还能使晶棒保持与地面较高的距离,避免地面热量和杂质的污染,而且相对活动设置的支撑体能够满足取晶笼随意水平放置或竖直放置的需求。
附图说明
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