[实用新型]一种分段液冷的磁棒

说明书

本实用新型公开了一种分段液冷的磁棒，包括磁棒体，所述的磁棒体外周设有四个呈圆周等距分布的凹槽，每一凹槽内均装有磁铁座，所述磁棒体内部设有液冷通道，所述的液冷通道包括位于磁棒体中心处的主进水通道和四个呈圆周分布在主进水通道四周的冷却通道，所述的每一冷却通道位于相邻两个凹槽之间，所述主进水通道与冷却通道通过多个等距分布两者之间的冷却水过孔相连通。本装置可打打提高磁棒体的冷却均匀性。

技术领域

本实用新型涉及磁控镀膜领域，具体涉及一种磁棒。

背景技术

在溅射工艺过程中，大部分能量转变成热量，因此需要对真空室、阴极等部件进行水冷却。但传统的磁控溅射镀膜阴极装置都采用单端进水冷却，冷却水从一端流入，再从另一端流出，出口冷却水和入口冷却水的温差可达20℃，长时间工作，永久磁铁和靶材两端的温度差也可达20℃，从而磁棒沿长度方向上的磁场强度变化较大，磁场不均匀，根据磁控溅射原理，氩离子轰击靶材表面的原子而形成薄膜，如果靶材温度低，原子需要更多的轰击动能才能溅射出来，因此靶材两端温度的不同会造成薄膜的厚度不均匀，从而影响镀膜的均匀性。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决以上现有技术的不足，提供一种通过分段冷却来提高冷却均匀性的磁棒。

一种分段液冷的磁棒，包括磁棒体，所述的磁棒体外周设有四个呈圆周等距分布的凹槽，每一凹槽内均装有磁铁座，所述磁棒体内部设有液冷通道，所述的液冷通道包括位于磁棒体中心处的主进水通道和四个呈圆周分布在主进水通道四周的冷却通道，所述的每一冷却通道位于相邻两个凹槽之间，所述主进水通道与冷却通道通过多个等距分布两者之间的冷却水过孔相连通。

优选地，所述的磁棒体的材质为不锈钢或铝合金。

为了防止冷却液溅射，漏液等情况，还包括位于磁棒体两端的挡板。

为了提高冷却液与管材的接触面积，所述的冷却通道的横截面形状为扇形。

为了获得最强的磁场强度，加快镀膜的效率，所述的磁铁座为电工纯铁磁铁座。

优选地，所述的主进水通道与每一冷却通道之间设置有2-5个冷却水过孔。

有益效果：

相比于传统的一端进水，一端出水的设计方案，本装置巧妙的通过中间的主进水通道将冷却通道的进水口设置在中间位置并等距设置多个，将原有的单极冷却降温曲线打乱成拥有多个低峰的温度变换曲线，其冷却均匀性为单端进水系统的n倍(n为单个冷却通道中冷却水过孔的数量)，在实际使用中，由于各个冷却水过孔处的水压不同以及冷却水自身拥有一定的热传递能力，所以并未发生两个相邻的冷却水过孔之间冷却水温度局部过热问题，所以本旋转阴极在保证冷却效率的同时大大提升冷却均匀性，从而相对于传统的旋转阴极来说，靶材的利用率还是成膜的均匀性都大大的得到提高。

附图说明

图1是本实用新型的剖视图；

图2是本实用新型的主视图；

1.磁铁座 2.冷却通道 3.磁棒体 4.主进水通道 5.冷却水过孔 6.左挡板 7.右挡板。

具体实施方式

为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例和附图对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。