[实用新型]一种密封性检测设备

说明书

一种密封性检测设备，该装置包括气体存储装置、气体检测装置和至少两个背衬管连接器；每一所述背衬管连接器用于与一个背衬管密封相连，所述至少两个背衬管连接器依次串联设置，以在所述背衬管连接器连接有背衬管时，使至少两个背衬管相串联；所述气体存储装置与所述背衬管连接器的相连通，所述气体存储装置用于储存检测气体，以及将检测气体充入连接至所述背衬管连接器的背衬管。所述气体检测装置用于检测充入背衬管的检测气体是否从背衬管中溢出。通过将至少两个背衬管连接器串联设置，在检测时，将背衬管密封于背衬管连接器上，能够一次实现对多个背衬管连接器的检测，提高检测效率。

技术领域

本申请涉及检测技术领域，尤其涉及一种密封性检测设备。

背景技术

圆柱靶材为圆柱型背衬管上覆盖一定厚度金属。靶材在使用时，圆柱型背衬管内会通入冷却循环水，冷却循环水用来带走靶材在溅射时产生的热量，以保证靶材温度恒定，从而使溅射过程连续稳定，进而得到厚度均匀的溅射膜层。

靶材的使用环境为高真空腔室，如果背衬管密封性能不好，冷却循环水会从背衬管内漏出，呈水汽或液体状态进入真空腔室。若冷却循环水呈水汽泄露，水汽会破坏真空腔室的真空度，从而影响靶材溅射的进行，甚至会导致靶材打火，中断靶材溅射过程等。

现有的背衬管密封性检测通过对背衬管逐根检测实现，检测过程中需要不断拆装需要检测和检测完成的背衬管，检测效率较低。

实用新型内容

本申请提供一种密封性检测设备，以解决现有的背衬管密封性检测效率较低的问题。

本实用新型实施例提供了一种密封性检测设备，包括气体存储装置、气体检测装置和至少两个背衬管连接器；

每一所述背衬管连接器用于与一个背衬管密封相连，所述至少两个背衬管连接器依次串联设置，以在所述背衬管连接器连接有背衬管时，使至少两个背衬管相串联；

所述气体存储装置与所述背衬管连接器的相连通，所述气体存储装置用于储存检测气体，以及将检测气体充入连接至所述背衬管连接器的背衬管。

所述气体检测装置用于检测充入背衬管的检测气体是否从背衬管中溢出。

可选的，每一所述背衬管连接器的两端各设有一个控制阀门。

可选的，每一所述背衬管连接器还包括气压检测装置，所述气压检测装置用于测量与所述背衬管连接器相连的背衬管内的气压。

可选的，所述气体存储装置的输出端设置有气体阀门。

可选的，还包括盲板，所述盲板用于密封与最远离所述气体存储装置的背衬管连接器相连的背衬管。

可选的，所述背衬管连接器包括法兰和与所述法兰相连的导气管，所述法兰用于和所述背衬管密封连接。

本申请通过将至少两个背衬管连接器串联设置，在检测时，将背衬管密封于背衬管连接器上，能够一次实现对多个背衬管连接器的检测，提高检测效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获取其他的附图。

图1是本实用新型第一实施例提供的密封性检测设备的结构示意图；

图2是本实用新型第二实施例提供的背衬管密封性检测方法的流程图。

具体实施方式