[实用新型]一种自控型靶材金属化装置

说明书

本实用新型涉及一种自控型靶材金属化装置，属于靶材金属化技术领域。本实用新型包括固定基座和设于固定基座上方的支撑架，支撑架上固定安装有弹力套筒，弹力套筒内安装有震动棒，震动棒的末端安装有涂铟头，固定基座上设有移动平台，移动平台上方固定有加热平台，靶材设于加热平台上，移动平台在电机带动下移动，弹力套筒的顶端设有压力传感器，压力传感器和电机均与PLC控制器连接，本实用新型实现靶材金属化过程的自动控制，可以稳定控制靶材金属化过程，降低金属化对操作人员操作数量程度的依赖，同时降低操作人员的劳动强度；通过PLC控制器、压力传感器和报警器确保涂铟头的压力值处于一定范围内，从而保证金属化厚度一致。

技术领域

本实用新型涉及一种自控型靶材金属化装置，属于靶材金属化技术领域。

背景技术

传统靶材金属化过程中，采用超声涂铟机进行，操作过程中，操作人员手持震动棒进行涂铟操作，这就对操作人员的操作熟练程度有很高的要求，金属化质量的统一性无法很好的保证。同时，由于整个过程中，操作人员持续手持震动棒进行操作，增加操作人员的劳动强度，而且，金属化过程中需要加热处理，操作环境比较恶劣，对操作人员考验较大，长时间的工作，易出现操作疲劳，甚至损伤操作人员健康。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有涂铟过程中存在的上述缺陷，提出了一种自控型靶材金属化装置，可以确保靶材金属化的质量一致，同时降低该工作对操作人员技术能力要求。

本实用新型是采用以下的技术方案实现的：

一种自控型靶材金属化装置，包括固定基座和设于固定基座上方的支撑架，所述支撑架上固定安装有弹力套筒，所述弹力套筒内安装有震动棒，所述震动棒的末端安装有涂铟头，所述固定基座上设有移动平台，所述移动平台上方固定有加热平台，靶材设于所述加热平台上，所述移动平台在电机带动下移动，所述弹力套筒的顶端设有压力传感器，所述压力传感器和电机均与PLC控制器连接。

进一步地，所述电机包括X轴电机和Y轴电机，所述X轴电机的电机轴连接有滚珠丝杆Ⅰ，所述滚珠丝杆Ⅰ连接有螺母座Ⅰ，所述螺母座上连接有Y轴电机，所述Y轴电机的电机轴连接有滚珠丝杆Ⅱ，所述滚珠丝杆Ⅱ连接有螺母座Ⅱ，所述移动平台设于螺母座Ⅱ上。

进一步地，所述PLC控制器连接有显示屏用于显示涂铟过程中涂铟头与靶材接触的压力值。

进一步地，所述PLC控制器连接有报警器，检测到涂铟头的压力值超过阈值后控制报警器进行报警。

进一步地，所述支撑架由横向杆和可伸缩的纵向杆组建而成，调节支撑架的纵向杆以调节涂铟头与靶材的接触，使得压力值在一个合适的范围。

进一步地，所述纵向杆上设有调节旋钮。

进一步地，所述涂铟头的压力值的合理范围为3-5N。

本实用新型的有益效果是：

实现靶材金属化过程的自动控制，利用该装置可以稳定控制靶材金属化过程，降低金属化对操作人员操作数量程度的依赖，同时降低操作人员的劳动强度；通过PLC控制器、压力传感器和报警器确保涂铟头的压力值处于一定范围内，从而保证金属化厚度一致。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图中：1弹力套筒；2震动棒；3压力传感器；4纵向杆；5调节旋钮；6涂铟头；7铟层；8靶材；9加热平台；10 X轴电机；11移动平台；12固定基座；13 Y轴电机。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。