[实用新型]一种精密仪器组合式防振支架安装结构

说明书

本实用新型提供一种精密仪器组合式防振支架安装结构，包括：支架A、支架B、支架C、支架D的一种或多种组合。本实用新型的安装结构具有轻量性和组合性的特点，根据精密仪器的不同型号和安装位置差异，防振支架可以进行不同形式的组合安装，安装和拆卸简单方便，同时，安装结构可以重复利用，极大的节省了制作成本，且安装结构的强度和刚度高，经久耐用，防振效果好。

技术领域

本实用新型涉及高精密半导体生产设备安装领域，具体是一种精密仪器组合式防振支架安装结构。

背景技术

目前半导体行业飞速发展，半导体制程精密仪器的升级换代也越来越快，相应半导体精密仪器的安装改造也越来越多。在半导体精密仪器安装过程中，消减或隔离振动是一项重要的指标，而现有固定支架安装结构存在强度不够、安装复杂、通用性和组合性差的问题。

发明内容

为实现上述目的，本实用新型提供一种精密仪器组合式防振支架安装结构，包括：支架A、支架B、支架C、支架D一种或多种组合而成。

进一步地，所述支架A是由拉丝面不锈钢板经过机械加工而成，整体呈Z字形结构，所述Z字形结构上部中心部位开设有用于与精密仪器底座相卡接的U形卡槽，所述Z字形结构下部设有用于安装固定的圆形螺栓孔。

进一步地，所述支架B是由不锈钢角经过机械加工而成，整体呈L形结构，所述L形结构中间设有三角形钢板加强肋，所述L形结构上下两面均设有用于安装固定的椭圆形螺栓孔。

进一步地，所述支架C是由拉丝面不锈钢板经过机械加工而成，整体呈直角形结构，所述直角形结构两个直角面底部分别设有底座，所述底座上分别设有用于安装固定的圆形螺栓孔。

进一步地，所述支架D是由拉丝面不锈钢板经过机械加工而成，整体呈N形结构，所述N形结构顶部中心部位开设有用于与精密仪器底座相卡接的U形卡槽，所述U形卡槽上部焊接U形加强板，所述N形结构两侧底部分别设有底座，所述底座上分别设有用于安装固定的椭圆形螺栓孔。

进一步地，所述支架A的Z字形结构，边长为234mm，宽度为75mm，厚度为6mm。

进一步地，所述支架B的L形结构，边长为200mm，宽度为100mm，厚度为10mm。

进一步地，所述支架C的直角形结构，边长为120mm，宽度为90mm，厚度为5mm。

进一步地，所述支架D的N形结构，边长为240mm，宽度为90mm，厚度为8mm。

本发明的有益效果为：

本实用新型的安装结构具有轻量性和组合性的特点，根据精密仪器的不同型号和安装位置差异，防振支架可以进行不同形式的组合安装，安装和拆卸简单方便，同时，安装结构可以重复利用，极大的节省了制作成本，且安装结构的强度和刚度高，经久耐用，防振效果好。

附图说明

图1为本实用新型支架A的结构示意图。

图2为本实用新型支架B的结构示意图。

图3为本实用新型支架C的结构示意图。

图4为本实用新型支架D的结构示意图。

图5为本实用新型支架A的安装结构示意图。

图6为本实用新型支架A和支架B的组合安装结构示意图。

图7为本实用新型支架B和支架C的组合安装结构示意图。

图8为本实用新型支架B、支架C和支架D的组合安装结构示意图。