[实用新型]一种可用于紫外激光器的多重扩束谐振腔

权利要求书

1.一种可用于紫外激光器的多重扩束谐振腔，其特征在于，包括第一半导体激光泵浦源组件、第一激光晶体、第一热补偿负透镜、第二半导体激光泵浦源组件、第二激光晶体、第二热补偿负透镜、第三半导体激光泵浦源组件、第三激光晶体、第三热补偿负透镜、腔内三倍频系统；所述第一半导体激光泵浦源组件用于对第一激光晶体泵浦，第一热补偿负透镜用于对第一激光晶体的等效热透镜效应进行补偿，且受到泵浦后的第一激光晶体与第一热补偿负透镜构成第一重扩束镜；所述第二半导体激光泵浦源组件用于对第二激光晶体泵浦，第二热补偿负透镜用于对第二激光晶体的等效热透镜效应进行补偿，且受到泵浦后的第二激光晶体与第二热补偿负透镜构成第二重扩束镜；第三半导体激光泵浦源组件用于对第三激光晶体泵浦，第三热补偿负透镜用于对第三激光晶体的等效热透镜效应进行补偿，且受到泵浦后的第三激光晶体与第三热补偿负透镜构成第三重扩束镜；所述第一重扩束镜、第二重扩束镜、第三重扩束镜用于依次放大光斑；所述第一半导体激光泵浦源组件与第三半导体激光泵浦源组件相邻布置，第一半导体激光泵浦源组件的泵浦光路与第二半导体激光泵浦源组件的泵浦光路形成第一夹角，第二半导体激光泵浦源组件的泵浦光路与第三半导体激光泵浦源组件的泵浦光路形成第二夹角；所述腔内三倍频系统布置于三重扩束镜的大光斑位置。

2.根据权利要求1所述的可用于紫外激光器的多重扩束谐振腔，其特征在于，所述多重扩束谐振腔还包括布置于激光谐振腔内的第一布儒斯特起偏器、第二布儒斯特起偏器、第三布儒斯特起偏器，分别用于提高第一激光晶体、第二激光晶体、第三激光晶体所激发的振荡光的偏振度。

3.根据权利要求2所述的可用于紫外激光器的多重扩束谐振腔，其特征在于，所述多重扩束谐振腔还包括第一平面反射镜、Q开关，Q开关、第一平面反射镜依次布置于第一热补偿负透镜的反射光路上。

4.根据权利要求3所述的可用于紫外激光器的多重扩束谐振腔，其特征在于，所述多重扩束谐振腔还包括平行平面透镜；所述平行平面透镜布置于第三半导体激光泵浦源组件的泵浦光路上，并与第三热补偿负透镜异端；所述平行平面透镜的法线方向与腔内振荡光路方向形成第三非直夹角，以起到压窄振荡光线宽的作用。

5.根据权利要求4所述的可用于紫外激光器的多重扩束谐振腔，其特征在于，所述腔内三倍频系统包括三倍频晶体，三倍频晶体的紫外光输出面的法线方向与腔内振荡光传输方向形成第四非直夹角，以使紫外光在三倍频晶体端面输出后的传输方向与振荡光的传输方向形成第五夹角。

6.根据权利要求5所述的可用于紫外激光器的多重扩束谐振腔，其特征在于，所述多重扩束谐振腔还包括第二平面反射镜；所述第二平面反射镜布置于第三半导体激光泵浦源组件的泵浦光路上，且布置于三倍频晶体的紫外光输出面附近，紫外光在三倍频晶体端面输出后从第二平面反射镜旁射出。

7.根据权利要求1所述的可用于紫外激光器的多重扩束谐振腔，其特征在于，所述第一热补偿负透镜、第二热补偿负透镜、第三热补偿负透镜均采用第一平凸透镜；所述第一热补偿负透镜的凸面靠近第一激光晶体布置，第二热补偿负透镜的凸面靠近第二激光晶体布置，第三热补偿负透镜的凸面靠近第三激光晶体布置；所述第一平凸透镜的凸面镀振荡光高反膜及泵浦光增透膜，平面镀泵浦光增透膜。

8.根据权利要求1所述的可用于紫外激光器的多重扩束谐振腔，其特征在于，所述第一半导体激光泵浦源组件、第二半导体激光泵浦源组件、第三半导体激光泵浦源组件均包括半导体激光器、准直透镜、聚焦透镜；所述半导体激光器输出端带有光纤，其采用光纤耦合输出，发射波长为875nm～885nm；所述准直透镜置于半导体激光器、聚焦透镜之间，半导体激光器的光纤输出端设置在准直透镜的焦点处；所述准直透镜采用第二平凸透镜，聚焦透镜采用第三平凸透镜；所述准直透镜的凸面与对应的聚焦透镜的凸面相对布置；所述第二平凸透镜、第三平凸透镜的双面均镀泵浦光增透膜。