[实用新型]一种准单晶铸锭炉炉体加热机构

说明书

本实用新型属于单晶炉技术领域，具体涉及一种准单晶铸锭炉炉体加热机构。该准单晶铸锭炉炉体加热机构，包括上炉体、下炉体、钢笼和加热室，所述下炉体上设有上炉体，下炉体内设有加热室，加热室内设有多根底部加热杆，所述各加热杆分别通过电极连接轴与底部电极连接，所述上炉体内设有钢笼，钢笼位于加热室上，钢笼与加热室连通处设有导热块，所述钢笼侧壁四周分别设有侧面加热杆，钢笼顶部设有顶部加热杆。其有益效果是：结构简单，上炉体与下炉体采用顶、中、下三部分独立温控单独加温,并对应三个单独的测温点，从而得到更合理的区域温度。

技术领域

本实用新型属于单晶炉技术领域，具体涉及一种准单晶铸锭炉炉体加热机构。

背景技术

准单晶铸锭炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,是基于准单晶铸锭炉的工艺生长无错位单晶的设备，准单晶（MonoLike）是基于多晶铸锭的工艺，在长晶时通过部分使用单晶籽晶，获得外观和电性能均类似单晶的多晶硅片，这种通过铸锭的方式形成单晶硅的技术，其功耗只比普通多晶硅多，所生产的单晶硅的质量接近直拉单晶硅，简单地说，这种技术就是用多晶硅的成本，生产单晶硅的技术，当下量产的准单晶技术大部分为有籽晶铸锭，这种技术先把籽晶、硅料掺杂元素放置在坩埚中，籽晶一般位于坩埚底部，再加热融化硅料，并保持籽晶不被完全融掉，最后控制降温，调节固液相的温度梯度，确保单晶从籽晶位置开始生长，这种技术的难点在于确保在熔化硅料阶段，籽晶不被完全融化，还有控制好温度梯度的分布，这个是提高晶体生长速度和晶体质量的关键，为了满足准单晶对于温度梯度的工艺要求，需要在炉内达到1450摄氏度的情况下打开风门，来进行逐渐降温的过程，且温度分布合适的热场，不仅单晶生长顺利，而且品质较高；如果热场的温度分布不是很合理,生长单晶的过程中容易产生各种缺陷,影响质量，情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶。

实用新型内容

本实用新型为了弥补现有技术的缺陷，提供了一种准单晶铸锭炉炉体加热机构。

本实用新型是通过如下技术方案实现的：

一种准单晶铸锭炉炉体加热机构，包括上炉体、下炉体、钢笼和加热室，所述下炉体上设有上炉体，下炉体内设有加热室，加热室内设有多根底部加热杆，所述各加热杆分别通过电极连接轴与底部电极连接，所述上炉体内设有钢笼，钢笼位于加热室上，钢笼与加热室连通处设有导热块，所述钢笼侧壁四周分别设有侧面加热杆，钢笼顶部设有顶部加热杆，侧面加热杆和顶部加热杆分别通过加热杆电极与对应的上部电极连接，所述下炉体内设有底部测温传感器，上炉体一侧设有中部测温传感器，上炉体上端设有顶部测温传感器，顶部加热杆、侧面加热杆和底部加热杆外接控制器并分别进行控制。

进一步，所述钢笼侧壁与侧面加热杆之间设有侧部保温板，加热室内侧壁上设有多层底部保温板。

进一步，所述上炉体顶部延伸至钢笼内设有进气管，进气管延伸至钢笼处设有多层进气管保温板。

进一步，所述上部电极外设有电极罩。

进一步，所述上炉体一侧设有真空抽气孔，钢笼顶部设有多个出气孔，钢笼内的气体通过各出气孔经真空抽气孔抽出，使其内部保持真空状态。

进一步，所述上部电极通过软连接件与对应加热杆电极连接，软连接件为铜排软连接。

进一步，所述顶部加热杆、侧面加热杆分别成S形布设在相应的位置。

进一步，所述顶部加热杆通过加热杆吊杆装配在钢笼顶部，顶部加热杆与钢笼顶部之间设有多层顶部保温包，钢笼通过装配吊杆设置在上炉体内。

进一步，所述上炉体上设有多个排气孔。

本实用新型的有益效果是：结构简单，上炉体与下炉体采用顶、中、下三部分独立温控单独加温,并对应三个单独的测温点，从而得到更合理的区域温度。

附图说明