[实用新型]一种准单晶铸锭炉下炉体水冷机构有效

专利信息
申请号: 201821368598.X 申请日: 2018-08-24
公开(公告)号: CN208869713U 公开(公告)日: 2019-05-17
发明(设计)人: 华焱 申请(专利权)人: 常州四杰机械科技有限公司
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 213000 江苏省常*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 冷却管路 水冷机构 水冷盘 下炉体 铸锭炉 准单晶 出水管 几字形 进水管 支撑座 炉子 下炉 底板 熔化 散热冷却效果 本实用新型 使用安全性 水流量 辅助加热 冷热交换 炉底外壳 水路设计 向下垂直 单晶炉 冷却管 水冷管 无氧铜 散热 可控 炉内 籽晶 装配 路口 安全 保证
【说明书】:

实用新型属于单晶炉技术领域,具体涉及一种准单晶铸锭炉下炉体水冷机构。该准单晶铸锭炉下炉体水冷机构,包括水冷盘、底板和支撑座,所述水冷盘四角分别通过支撑座装配在下炉底外壳内,水冷盘内成几字形分布有两条冷却管路,两条冷却管路分别连接有进水管和出水管,两冷却管路的进水管和出水管分别通过水冷管接头与下炉底外壳上的冷却管路口连接。其有益效果是:结构简单,使用方便,底部为可控水冷热交换,采用无氧铜且内部成几字形两进两出的水路设计,确保水流量充分带走炉内内部热量,保证了下炉底外壳底部的散热冷却效果,提高炉子的使用安全性,熔化阶段底部辅助加热,长晶阶段向下垂直散热,有效保护底部籽晶,给炉子安全带来了保障。

技术领域

本实用新型属于单晶炉技术领域,具体涉及一种准单晶铸锭炉下炉体水冷机构。

背景技术

准单晶铸锭炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,是基于准单晶铸锭炉的工艺生长无错位单晶的设备,准单晶(MonoLike)是基于多晶铸锭的工艺,在长晶时通过部分使用单晶籽晶,获得外观和电性能均类似单晶的多晶硅片,这种通过铸锭的方式形成单晶硅的技术,其功耗只比普通多晶硅多,所生产的单晶硅的质量接近直拉单晶硅,简单地说,这种技术就是用多晶硅的成本,生产单晶硅的技术,当下量产的准单晶技术大部分为有籽晶铸锭,这种技术先把籽晶、硅料掺杂元素放置在坩埚中,籽晶一般位于坩埚底部,再加热融化硅料,并保持籽晶不被完全融掉,最后控制降温,调节固液相的温度梯度,确保单晶从籽晶位置开始生长,这种技术的难点在于确保在熔化硅料阶段,籽晶不被完全融化,还有控制好温度梯度的分布,这个是提高晶体生长速度和晶体质量的关键,为了满足准单晶对于温度梯度的工艺要求,需要在炉内达到1450摄氏度的情况下打开风门,来进行逐渐降温的过程,传统的设计是将炉体钢笼提升实现炉体散热,此散热方式无法满足准单晶对于温度梯度的要求,不利于单晶生长,影响单晶品质,且降温时间长且效果差。

实用新型内容

本实用新型为了弥补现有技术的缺陷,提供了一种准单晶铸锭炉下炉体水冷机构。

本实用新型是通过如下技术方案实现的:

一种准单晶铸锭炉下炉体水冷机构,包括水冷盘、底板和支撑座,所述水冷盘四角分别通过支撑座装配在下炉底外壳内,水冷盘内成几字形分布有两条冷却管路,两条冷却管路分别连接有进水管和出水管,两冷却管路的进水管和出水管分别通过水冷管接头与下炉底外壳上的冷却管路口连接。

进一步,所述各支撑座与水冷盘连接处分别设有装配座,装配座上设有连接座,连接座通过紧固螺栓与水冷盘固定连接。

进一步,所述水冷盘上设有底板,底板上设有滑轨,底板四角为圆弧形缺口角。

进一步,所述底板上的滑轨成十字形布设在底板中心位置。

进一步,所述水冷盘为无氧铜材质。

本实用新型的有益效果是:结构简单,使用方便,底部为可控水冷热交换,采用无氧铜且内部成几字形两进两出的水路设计,确保水流量充分带走炉内内部热量,保证了下炉底外壳底部的散热冷却效果,提高炉子的使用安全性,熔化阶段底部辅助加热,长晶阶段向下垂直散热,有效保护底部籽晶,给炉子安全带来了保障。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

附图1为本实用新型的结构示意图。

图中,1水冷盘,2支撑座,3底盘,4进水管,5出水管,6滑轨,7水冷管接头,8装配座,9连接座,10紧固螺栓。

具体实施方式

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州四杰机械科技有限公司,未经常州四杰机械科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821368598.X/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top