[实用新型]一种准单晶铸锭炉下炉体散热机构有效
申请号: | 201821368572.5 | 申请日: | 2018-08-24 |
公开(公告)号: | CN208869712U | 公开(公告)日: | 2019-05-17 |
发明(设计)人: | 华焱 | 申请(专利权)人: | 常州四杰机械科技有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B29/06;C30B28/06 |
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地址: | 213000 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 风门 散热机构 导轨座 下炉体 铸锭炉 准单晶 底板 风门机构 滑动小车 支撑轴套 导轨 下炉 热门 熔化 本实用新型 辅助加热 卡死现象 冷热交换 散热效果 向下垂直 单晶炉 连接臂 连接杆 水冷盘 支撑座 炉子 散热 传动 可控 籽晶 安全 保证 | ||
本实用新型属于单晶炉技术领域,具体涉及一种准单晶铸锭炉下炉体散热机构。该准单晶铸锭炉下炉体散热机构,包括下炉底外壳、支撑座、导轨座和风门机构,所述下炉底外壳内中间部位设有支撑轴套,支撑轴套顶部通过连接臂设有多个导轨座,导轨座上设有导轨,导轨上设有滑动小车,所述风门机构包括底板和热门,底板位于水冷盘上,热门包括第一风门和第二风门,各滑动小车分别通过连接杆与对应的第一风门和第二风门进行传动。其有益效果是:结构简单,使用方便,避免发生卡死现象,保证散热效果,且底部可控水冷热交换,熔化阶段底部辅助加热,长晶阶段向下垂直散热,有效保护底部籽晶,给炉子安全带来了保障。
技术领域
本实用新型属于单晶炉技术领域,具体涉及一种准单晶铸锭炉下炉体散热机构。
背景技术
准单晶铸锭炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,是基于准单晶铸锭炉的工艺生长无错位单晶的设备,准单晶(MonoLike)是基于多晶铸锭的工艺,在长晶时通过部分使用单晶籽晶,获得外观和电性能均类似单晶的多晶硅片,这种通过铸锭的方式形成单晶硅的技术,其功耗只比普通多晶硅多,所生产的单晶硅的质量接近直拉单晶硅,简单地说,这种技术就是用多晶硅的成本,生产单晶硅的技术,当下量产的准单晶技术大部分为有籽晶铸锭,这种技术先把籽晶、硅料掺杂元素放置在坩埚中,籽晶一般位于坩埚底部,再加热融化硅料,并保持籽晶不被完全融掉,最后控制降温,调节固液相的温度梯度,确保单晶从籽晶位置开始生长,这种技术的难点在于确保在熔化硅料阶段,籽晶不被完全融化,还有控制好温度梯度的分布,这个是提高晶体生长速度和晶体质量的关键,为了满足准单晶对于温度梯度的工艺要求,需要在炉内达到1450摄氏度的情况下打开风门,来进行逐渐降温的过程,传统的设计是将炉体钢笼提升实现炉体散热,此散热方式无法满足准单晶对于温度梯度的要求,不利于单晶生长,影响单晶品质。
实用新型内容
本实用新型为了弥补现有技术的缺陷,提供了一种准单晶铸锭炉下炉体散热机构。
本实用新型是通过如下技术方案实现的:
一种准单晶铸锭炉下炉体散热机构,包括下炉底外壳、支撑座、导轨座和风门机构,所述下炉底外壳内中间部位设有支撑轴套,支撑轴套顶部通过连接臂设有多个导轨座,导轨座上设有导轨,导轨上设有滑动小车,所述风门机构包括底板和热门,底板位于水冷盘上,热门包括第一风门和第二风门,各滑动小车分别通过连接杆与对应的第一风门和第二风门进行传动。
进一步,所述底板上位于中间部位设有两个第二风门,底板上位于中间部位的两第二风门两侧对称设有第一风门,各风门底部位于底板的一侧均设有拉滑块,拉滑块与底板之间位于底板上设有滑轨,拉滑块在底板上的滑轨上进行滑动,连接杆贯穿各拉滑块与对应的风门连接处设有拉滑块固定板,底板四角为圆弧形缺口角。
进一步,所述支撑轴套内设有传动轴,传动轴位于各导轨的一端设有转盘,转盘上对应各导轨上的滑动小车设有拉杆,通过下炉底外壳底部的驱动轴与驱动设备连接带动传动轴进行转动,使传动轴带动转盘通过拉杆传动滑动小车在导轨上进行移动,从而使各滑动小车上的连接杆带动对应的风门进行传动。
进一步,所述支撑轴套顶部通过连接臂分别设有四条导轨座,四条导轨座成十字型分布,转盘的外部轮廓为十字型,转盘位于十字的各端部分别通过拉杆与滑动小车连接。
进一步,所述滑动小车底部设有两排滑轮,导轨座上的导轨位于两排滑轮之间,通过各滑轮与导轨配合实现滑动小车滑动,滑轮与导轨之间的间隙为0.5-1mm。
进一步,所述滑轮与导轨均为钨合金钢材料,导轨座采用经过两次渗氮热处理的耐高温不锈钢。
进一步,所述拉杆与滑动小车和转盘均通过万向转轴连接。
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