[实用新型]一种准单晶铸锭炉下炉体风门传动机构

说明书

本实用新型属于单晶炉技术领域，具体涉及一种准单晶铸锭炉下炉体风门传动机构。该准单晶铸锭炉下炉体风门传动机构，包括下炉底外壳、支撑座和导轨座，所述下炉底外壳内中间部位设有支撑轴套，支撑轴套顶部通过连接臂设有多个导轨座，导轨座上设有导轨，导轨上设有滑动小车，支撑轴套内设有传动轴，传动轴位于各导轨的一端设有转盘，转盘上对应各导轨上的滑动小车设有拉杆，通过下炉底外壳底部的驱动轴与驱动设备连接带动传动轴进行转动，使传动轴带动转盘通过拉杆传动滑动小车在导轨上进行移动，从而使各滑动小车上的连接杆带动对应的风门进行传动。其有益效果是：结构简单，使用方便，避免发生卡死现象，给炉子安全带来了保障。

技术领域

本实用新型属于单晶炉技术领域，具体涉及一种准单晶铸锭炉下炉体风门传动机构。

背景技术

准单晶铸锭炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,是基于准单晶铸锭炉的工艺生长无错位单晶的设备，准单晶（MonoLike）是基于多晶铸锭的工艺，在长晶时通过部分使用单晶籽晶，获得外观和电性能均类似单晶的多晶硅片，这种通过铸锭的方式形成单晶硅的技术，其功耗只比普通多晶硅多，所生产的单晶硅的质量接近直拉单晶硅，简单地说，这种技术就是用多晶硅的成本，生产单晶硅的技术，当下量产的准单晶技术大部分为有籽晶铸锭，这种技术先把籽晶、硅料掺杂元素放置在坩埚中，籽晶一般位于坩埚底部，再加热融化硅料，并保持籽晶不被完全融掉，最后控制降温，调节固液相的温度梯度，确保单晶从籽晶位置开始生长，这种技术的难点在于确保在熔化硅料阶段，籽晶不被完全融化，还有控制好温度梯度的分布，这个是提高晶体生长速度和晶体质量的关键，为了满足准单晶对于温度梯度的工艺要求，需要在炉内达到1450摄氏度的情况下打开风门，来进行逐渐降温的过程，且温度分布合适的热场，不仅能保证单晶生长顺利，而且品质较高；传统的设计一直无法解决在高温下顺利的打开和关闭风门，严重时还有卡死现象，给炉子安全带来极大的隐患。

实用新型内容

本实用新型为了弥补现有技术的缺陷，提供了一种准单晶铸锭炉下炉体风门传动机构。

本实用新型是通过如下技术方案实现的：

一种准单晶铸锭炉下炉体风门传动机构，包括下炉底外壳、支撑座和导轨座，所述下炉底外壳内中间部位设有支撑轴套，支撑轴套顶部通过连接臂设有多个导轨座，导轨座上设有导轨，导轨上设有滑动小车，支撑轴套内设有传动轴，传动轴位于各导轨的一端设有转盘，转盘上对应各导轨上的滑动小车设有拉杆，通过下炉底外壳底部的驱动轴与驱动设备连接带动传动轴进行转动，使传动轴带动转盘通过拉杆传动滑动小车在导轨上进行移动，从而使各滑动小车上的连接杆带动对应的风门进行传动。

进一步，所述支撑轴套顶部通过连接臂分别设有四条导轨座，四条导轨座成十字型分布，转盘的外部轮廓为十字型，转盘位于十字的各端部分别通过拉杆与滑动小车连接。

进一步，所述滑动小车底部设有两排滑轮，导轨座上的导轨位于两排滑轮之间，通过各滑轮与导轨配合实现滑动小车滑动，滑轮与导轨之间的间隙为0.5-1mm。

进一步，所述滑轮与导轨均为钨合金钢材料，导轨座采用经过两次渗氮热处理的耐高温不锈钢。

进一步，所述拉杆与滑动小车和转盘均通过万向转轴连接。

本实用新型的有益效果是：结构简单，使用方便，导轨座采用耐高温不锈钢进行二次渗氮热处理工艺，保证在高温条件下能够达到设计的要求，再配合钨合金钢导轨使滑动小车能够平稳的按设计要求滑动，且滑轮与导轨之间的间隙设计，满足导轨与滑轮膨胀系数的要求，避免发生卡死现象，给炉子安全带来了保障。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

附图1为本实用新型的结构示意图；

附图2为本实用新型的俯视图；