[实用新型]一种C4F7N浓度与放电微量组分的红外检测装置

权利要求书

1.一种C₄F₇N浓度与放电微量组分的红外检测装置，其特征在于，包括：傅里叶变换红外光谱仪(16)以及废气瓶(28)，所述废气瓶(28)连接有真空泵(22)，所述真空泵(22)连接有第二开关阀(21)，所述第二开关阀(21)远离真空泵(22)的一端连接有傅里叶变换红外光谱仪(16)，所述傅里叶变换红外光谱仪(16)另一端与PC机(17)相连，所述傅里叶变换红外光谱仪(16)靠近第二开关阀(21)的一端连接有压力传感器(19)，所述压力传感器(19)连接有第一开关阀(20)，所述第一开关阀(20)的远离压力传感器(19)的一端连接有采气袋(23)，所述采气袋(23)远离第一开关阀(20)的一端连接有配气仪(24)，所述配气仪(24)分别连接有C₄F₇N气瓶(25)、二氧化碳气瓶(26)以及组分气瓶(27)，所述傅里叶变换红外光谱仪(16)包括能有效检测浓度与组分的气体池(18)。

2.如权利要求1所述的一种C₄F₇N浓度与放电微量组分的红外检测装置，其特征在于，所述气体池包括镀膜反射镜(4)、腔体(7)、窗片(11)、反射镜固定盒(10)以及通光孔，所述反射镜固定盒(10)位于腔体(7)的下方，所述反射镜固定盒(10)两侧各设置有一镀膜反射镜(4)，所述反射镜固定盒(10)上对应镀膜反射镜(4)中心的位置上开有通光孔，所述镀膜反射镜(4)上正上方设置有窗片(11)。

3.如权利要求2所述的一种C₄F₇N浓度与放电微量组分的红外检测装置，其特征在于，所述反射镜固定盒(10)上端面外侧的窗片(11)之间的中间位置固接有镀膜大镜片(1)，所述镀膜大镜片(1)的长边与两个窗片(11)中心的连线方向平行，所述腔体(7)内与两个窗片(11)对应的位置分别固接有第一镀膜小镜片(2)以及第二镀膜小镜片(3)，所述第一镀膜小镜片(2)以及第二镀膜小镜片(3)长直边与镀膜大镜片(1)的长边相垂直。

4.如权利要求3所述的一种C₄F₇N浓度与放电微量组分的红外检测装置，其特征在于，所述第一镀膜小镜片(2)以及第二镀膜小镜片(3)靠近腔体(7)的一侧为弧形。

5.如权利要求3所述的一种C₄F₇N浓度与放电微量组分的红外检测装置，其特征在于，所述腔体(7)与反射镜固定盒之间设置有大镜片底座(5)，所述大镜片底座(5)上安装有镀膜大镜片(1)。

6.如权利要求2所述的一种C₄F₇N浓度与放电微量组分的红外检测装置，其特征在于，所述反射镜固定盒(10)中设置有角反支架(13)，所述角反支架(13)位于反射镜固定盒的两侧，所述镀膜反射镜(4)位于角反支架(13)上。

7.如权利要求5所述的一种C₄F₇N浓度与放电微量组分的红外检测装置，其特征在于，所述窗片(11)材料为氟化钙。

8.如权利要求3所述的一种C₄F₇N浓度与放电微量组分的红外检测装置，其特征在于，所述腔体(7)上设置有密封盖(9)。

9.如权利要求1所述的一种C₄F₇N浓度与放电微量组分的红外检测装置，其特征在于，所述气体池(18)连接有干燥箱(29)。