[实用新型]一种拍焦点装置有效
申请号: | 201821345516.X | 申请日: | 2018-08-20 |
公开(公告)号: | CN208688432U | 公开(公告)日: | 2019-04-02 |
发明(设计)人: | 王炳;唐天权;颜加润;梁晶;曾雅涵 | 申请(专利权)人: | 爱克斯瑞真空技术(苏州)有限公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00;G01T1/29 |
代理公司: | 苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 32266 | 代理人: | 伍兵 |
地址: | 215000 江苏省苏州市吴中区越溪街*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 模块设置 三轴定位 机架台 焦点装置 支撑座 焦点 本实用新型 挡板 高压油箱 工作效率 机架中部 焦点检测 拍摄装置 位置定位 拍摄 | ||
1.一种拍焦点装置,包括机架、固定在机架底部的高压油箱以及安装在机架中部的机架台面板,其特征在于,还包括设置在机架台面板上的支撑座以及三轴定位装置,所述支撑座与三轴定位装置之间设有一挡板,所述三轴定位装置包括X轴向位移模块、Y轴向位移模块以及Z轴向位移模块,其中,所述X轴向位移模块设置在机架台面板上,所述Y轴向位移模块设置在所述X轴向位移模块上,所述Z轴向位移模块设置在所述Y轴向位移模块上,所述Z轴向位移模块上设有滑动架,所述滑动架上设有成像观察器,所述成像观察器的内部设有焦点拍摄器。
2.根据权利要求1所述的一种拍焦点装置,其特征在于,所述成像观察器平行于机架台平面。
3.根据权利要求1所述的一种拍焦点装置,其特征在于,所述X轴向位移模块、Y轴向位移模块以及Z轴向位移模块上均设有旋转手柄,分别为X轴向旋转手柄、Y轴向旋转手柄、Z轴向旋转手柄。
4.根据权利要求1或3所述的一种拍焦点装置,其特征在于,所述Z轴向旋转手柄活动连接所述滑动架。
5.根据权利要求1所述的一种拍焦点装置,其特征在于,所述Z轴向位移模块上设有滑轨。
6.根据权利要求1所述的一种拍焦点装置,其特征在于,所述支撑座贯穿所述机架台面板。
7.根据权利要求1所述的一种拍焦点装置,其特征在于,所述高压油箱上设有绝缘套。
8.根据权利要求1所述的一种拍焦点装置,其特征在于,所述支撑座为中空结构,该中空结构的内部设有一缆线,所述缆线通过绝缘套连接高压油箱。
9.根据权利要求8所述的一种拍焦点装置,其特征在于,所述支撑座用于支撑X射线管,所述X射线管的一端耦接高压线,另外一端抵接所述支撑座,该端同时连接所述缆线。
10.根据权利要求1所述的一种拍焦点装置,其特征在于,所述机架上还设有一控制柜。
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