[实用新型]可调节式喷嘴

说明书

本实用新型公开了可调节式喷嘴，包括喷嘴外壳、调节圆板和密封卡件，所述喷嘴外壳包括安装套筒，所述安装套筒靠近开口端的外侧壁固定连接有两个对称设置的手柄杆，所述安装套筒远离开口端的侧壁固定连接有连接板的一端，所述连接板的另一端固定连接有挡板，所述安装套筒远离开口端的侧壁开设有出液孔。通过调节拨动齿轮，进而调节扇形通孔与扇形遮板的相对位置，以改变通流界面的大小，从而调节化学品喷出的速度，使所用的化学品得到充分的利用，还可以在一定程度上提高工作效率，适应范围更广。推动手柄杆，使整个喷嘴转动，可以调节喷嘴喷淋的角度，使用更方便。

技术领域

本实用新型涉及半导体湿式制程设备领域，具体涉及可调节式喷嘴。

背景技术

在半导体湿式制程中晶圆的清洗和蚀刻都需要经过许多高纯度的化学品的清洗，通常是采用喷嘴喷洒或风刀流出化学品或水等处理液体。目前所用的喷嘴无法调节喷淋的角度和速度，水压难以控制，导致清洗效率较低，同时也会造成化学品的浪费。

实用新型内容

为了解决上述的技术问题，本实用新型的目的在于提供可调节式喷嘴，通过实现喷嘴角度和速度的调节，使化学品的利用率提高，同时让喷嘴可以更加方便的使用。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

本实用新型提供了可调节式喷嘴，包括喷嘴外壳、调节圆板和密封卡件，所述喷嘴外壳包括安装套筒，所述安装套筒靠近开口端的外侧壁固定连接有两个对称设置的手柄杆，所述安装套筒远离开口端的侧壁固定连接有连接板的一端，所述连接板的另一端固定连接有挡板，所述安装套筒远离开口端的侧壁开设有出液孔，所述安装套筒的内壁固定连接有限位环形板，所述限位环形板与调节圆板的一侧相抵触，所述调节圆板的另一侧与密封卡件相抵触，所述密封卡件插接在安装套筒中，所述调节圆板的中心处开设有安装孔，所述调节圆板上开设有四个环形分布的扇形通孔。

所述密封卡件包括连接轴承和四个扇形遮板，所述连接轴承的内圈侧壁固定连接有两个对称设置的连接杆，其中两个所述扇形遮板分别与两个连接杆远离连接轴承的一端固定连接，四个所述扇形遮板固定连接在同一个安装环形板的外圈侧壁，且四个扇形遮板呈环形分布。

进一步的，所述安装套筒靠近挡板的内侧壁通过支撑杆连接有固定杆的一端，所述固定杆的另一端螺纹连接有螺母，所述调节圆板和安装环形板均活动套接在固定杆上。

进一步的，所述安装套筒开口端的内侧壁上开设有定位滑动槽，其中一个所述连接杆的侧壁固定连接有匹配定位滑动槽的定位块。

进一步的，所述调节圆板的外圈侧壁设置有轮齿，所述安装套筒的外侧壁固定连接有拨动组件，所述拨动组件包括安装矩形框，所述安装矩形框与安装套筒的外侧壁固定连接，所述安装矩形框的内侧壁固定连接有转轴，所述转轴转动套接有拨动齿轮，所述拨动齿轮靠近调节圆板的一侧贯穿安装套筒的侧壁后与调节圆板啮合，且拨动齿轮远离调节圆板的一侧位于安装矩形框的外部。

进一步的，所述安装矩形框的内侧壁固定连接有密封橡胶垫。

本实用新型的有益效果：

(1)通过调节拨动齿轮，进而调节扇形通孔与扇形遮板的相对位置，以改变通流界面的大小，从而调节化学品喷出的速度，使所用的化学品得到充分的利用，还可以在一定程度上提高工作效率，适应范围更广。

(2)通过推动手柄杆，使整个喷嘴转动，可以调节喷嘴喷淋的角度，使用更方便。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型的立体装配图；

图2是本实用新型的调节圆板的A向视图；

图3是本实用新型的密封卡件的A向视图；