[实用新型]一种硅片切割机废水处理装置

说明书

本实用新型公开了一种硅片切割机废水处理装置，包括多级按照由高到低顺利一次设立的过滤箱，所述过滤箱内被隔板和滤布分隔为沉降室和清液室，所述沉降室和清液室内设置有进料管和溢流管，所述相邻过滤箱的进料管和溢流管之间通过输水管连通；且本实用新型的滤布孔径按照由高到低的顺序呈线性递减；本实用新型在将废水中的杂质沉积与沉降室内，上层清液通过溢流管进入到下一级过滤箱内，本实用新型实现了对杂质的分级过滤，与传统的过滤方式相比，能够大大提高过滤的质量，降低企业的环保排放压力。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，具体涉及一种硅片切割机废水处理装置。

背景技术

太阳能是一种可再生资源，因其具有广泛的来源和极低的获取成本而成为应用最广泛的新能源种类之一，现有技术中主要通过太阳能电池板将光能转化为电能加以利用，而太阳能电池板根据使用材质的不同又氛围硅太阳能电池、有机太阳能电池等，其中硅太阳能电池是应用最成熟的一种太阳能电池板；硅太阳能电池板所使用的单晶硅片通过经过金钢线切片机切割而成，该设备主要通过金钢线与被切割物之间的相对磨削运动实现切割，切割过程中会产生大量的热量，因此需要向金刚线上喷洒大量的冷却水，若不对冷却水进行回收再利用，一方面用水量巨大，不利于降低生产成倍，另一方面生产污水的排放容易造成环境污染。

公开号为CN206870154U的中国实用新型专利于2018年1月12日公开了一种使用金钢线快速切割工艺的单晶硅片切割机，包括两根平行设置的主辊，主辊上绕有金钢线，主辊上方设有水管和冲洗装置，所述冲洗装置包括接入腔、泄压腔，接入腔、泄压腔之间连通，水管通入所述接入腔内，冲洗装置上还设有下涎片，水管内的水流经接入腔、泄压腔、下涎片后流到金钢线上。本实用新型由于采用了以上技术方案，能够对切片机工作产生的水进行过滤和冷却，回收后再次用于生产，能够节约大量水资源。

发明内容

针对现有技术中存在的废水处理难度效果差、污染严重的缺陷，本实用新型公开了一种硅片切割机废水处理装置，采用本实用新型能够对冷却水进行回收再处理，从而达到节约用水，降低环境排放压力，降低生产成本的目的。

本实用新型通过以下技术方案实现上述目的：

一种硅片切割机废水处理装置，包括多级按照由高到低的顺序依次设置有多级过滤箱；其特征在于：所述过滤箱内被竖直设置的隔板和水平设置的滤布分隔为沉降室和清液室，所述清液室侧壁上设置有溢流管，沉降室侧壁上设置有进料管，相邻过滤箱之间的溢流管和进料管之间通过输水管相连；所述相邻过滤箱内的滤布的孔径大小按由高到低的顺序线性递减；所述第一级过滤箱和最后一级过滤箱上分别设置有进料斗和排液管，所述进料斗和排液管分别与本级过滤箱的沉降室和清液室连通。

所述沉降室内还设置有导流板，所述导流板尾端与沉降室内壁之间的间隙为0.5-1mm。

所述沉降室和清液室内均设置有浑浊度传感器，过滤箱上还设置有与浑浊度传感器相连的控制器，所述控制器上还设置有报警装置。

所述输水管上还设置有截止阀和连接抱箍。

所述进料斗内还设置有过滤网。

所述过滤箱底部设置有与沉降室连通的排料口。

所述过滤箱上设置有观察窗。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：