[实用新型]一种多晶硅片制绒刻蚀槽

权利要求书

1.一种多晶硅片制绒刻蚀槽，其特征在于：包括装有第一刻蚀液的第一刻蚀槽（2）、第一搬运装置（3）、装有水的清洗槽（21）、第二搬运装置（5）、烘干室（22）、第三搬运装置（7）、装有第二刻蚀液的第二刻蚀槽（9），第一刻蚀槽（2）中安装有第一滚轮传动结构（1），清洗槽（21）中安装有第二滚轮传动结构（4），烘干室（22）中安装有第三滚轮传动结构（6），第二刻蚀槽（9）中安装有第四滚轮传动结构（8），烘干室（22）中安装有鼓风机（10），第一滚轮传动结构（1）的左端有第一传动链带（11），第一滚轮传动结构（1）的右端有第二传动链带（16），第二传动链带（16）的右侧有挡块（15），第二滚轮传动结构（4）的左端有第一传动链带（11），第二滚轮传动结构（4）的右端有第二传动链带（16），第二传动链带（16）的右侧有挡块（15），第三滚轮传动结构（6）的左端有第一传动链带（11），第三滚轮传动结构（6）的右端有第二传动链带（16），第二传动链带（16）的右侧有挡块（15），第四滚轮传动结构（8）的左端有第一传动链带（11），第四滚轮传动结构（8）的右端有第二传动链带（16），第二传动链带（16）的右侧有挡块（15）。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅片制绒刻蚀槽，其特征在于：第一滚轮传动结构（1）、第二滚轮传动结构（4）、第三滚轮传动结构（6）、第四滚轮传动结构（8）都由多个上滚轮（13）和多个下滚轮（14）组成。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅片制绒刻蚀槽，其特征在于：第一传动链带（11）和第二传动链带（16）都由左滚轮、右滚轮、缠绕在左滚轮和右滚轮钢丝网带组成。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅片制绒刻蚀槽，其特征在于：第一搬运装置（3）、第二搬运装置（5）、第三搬运装置（7）都由液压装置（20）、安装在液压装置（20）液压臂上的电机（19）、安装在电机（19）输出轴上的弯曲臂（18）、安装在弯曲臂（18）头部的真空吸盘（17）构成。