[实用新型]一种密封性良好的电加热退火炉

说明书

本实用新型公开了一种密封性良好的电加热退火炉，包括电加热退火炉本体、活动密封门、转动槽和开口，所述电加热退火炉本体呈圆筒状结构，电加热退火炉本体的上端外圈处设有转动槽，所述转动槽上设有两组开口，本实用新型电热退火炉本体上端设有两组对称的开口，开口处密封有本身具有密封性的活动密封门，且活动密封门上下两端通过上端密封环和下端密封环加强密封，其开口处密封性较强，提升了电加热退火炉本体的加热效率，本实用新型当转动活动密封门打开开口时，可辅助电加热退火炉本体内部的热量流失，提高退火的效率，且活动密封门通过中间连接杆转动控制，使用方便，活动密封门通过磁吸块相吸固定在转动槽中，固定方便。

技术领域

本实用新型涉及电加热退火炉技术领域，具体为一种密封性良好的电加热退火炉。

背景技术

退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60％，电加热退火炉是一种电加热式退火炉，它在实际使用的过程中仍存在以下弊端：

1.现有的电加热退火炉在加热时因设有进出工件的箱门，其密封性较差，影响退火炉内部进行加热；

2.退火炉中进行退火时往往都是停止加热缓慢进行降温，但这种方便效率较低，退火缓慢，且不方便控制箱门的密封和打开。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种密封性良好的电加热退火炉，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种密封性良好的电加热退火炉，包括电加热退火炉本体、活动密封门、转动槽和开口，所述电加热退火炉本体呈圆筒状结构，电加热退火炉本体的上端外圈处设有转动槽，所述转动槽上设有两组开口，所述开口上对应密封有活动密封门，两个转动槽处对应的两组活动密封门之间通过中间连接杆一体连接，所述活动密封门的端部内侧固定设有磁吸块，转动槽的端部外圈处也固定设有磁吸块，转动槽上的磁吸块和活动密封门上的磁吸块相互吸合，所述活动密封门的上下两端分别固定设有上端密封环和下端密封环，上端密封环和下端密封环分别卡合在与之相对应的上端密封槽和下端密封槽中，所述上端密封槽设置在转动槽上方内壁，上端密封槽呈圆环形槽体，所述下端密封槽设置在转动槽的下方内壁上，下端密封槽呈圆环形槽体，下端密封槽的外圈处密封有下端固定环。

优选的，所述转动槽的内径小于电加热退火炉本体的外径，转动槽的内径大于电加热退火炉本体的内径。

优选的，所述开口的开口弧度为九十度角，两组开口相对应电加热退火炉本体的中轴线呈对称状设置。

优选的，所述活动密封门呈弧形板状结构，活动密封门套设在转动槽上，活动密封门的外径和电加热退火炉本体的外径一致，活动密封门的弧形大于九十度设置。

优选的，所述中间连接杆呈弧形条状结构，中间连接杆的两端分别固定焊接在两组活动密封门的相对面上，所述中间连接杆焊接在活动密封门侧面的中间位置处。

优选的，所述下端固定环由两组等规格大小的半环状结构组成，下端固定环的横截面呈L字形结构，两组下端固定环均通过固定螺钉固定在电加热退火炉本体的表面。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型电热退火炉本体上端设有两组对称的开口，开口处密封有本身具有密封性的活动密封门，且活动密封门上下两端通过上端密封环和下端密封环加强密封，其开口处密封性较强，提升了电加热退火炉本体的加热效率；

2.本实用新型当转动活动密封门打开开口时，可辅助电加热退火炉本体内部的热量流失，提高退火的效率，且活动密封门通过中间连接杆转动控制，使用方便，活动密封门通过磁吸块相吸固定在转动槽中，固定方便；