[实用新型]一种用于制作太阳能电池片的表面刻蚀排风系统

说明书

本实用新型公开了一种用于制作太阳能电池片的表面刻蚀排风系统，包括刻蚀槽、盖合在刻蚀槽上端的槽盖；所述槽盖上架设有排风横管，所述排风横管下端设有通风细管，所述通风细管将排风横管及刻蚀槽连通，所述排风横管上端连通有抽气管，所述抽气管中间还密封连接有吸收中和装置。利用通风细管将刻蚀槽内的气体集中到排风横管中，然后通过抽气管将排风横管内的气体全部抽走，在抽气管上设置吸收中和装置避免气体中的酸性或碱性物质直接排放出去，保护了环境，也确保其它生产设备遭到腐蚀。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池片生产设备领域，特别涉及一种用于制作太阳能电池片的表面刻蚀排风系统。

背景技术

在电池片的制作步骤主要有制绒、扩散、刻蚀等。其中刻蚀的目的是要去除在扩散工艺形成的电池片上的N型硅，防止漏电。当前主要有两种刻蚀方法：干法刻蚀和湿法刻蚀，湿法刻蚀是利用腐蚀液与所需去除部分的化学反应来进行刻蚀。在用湿法刻蚀时难免会产生一定量的酸性或碱性气体，这些气体会影响硅片方阻的均匀性，因此需要在刻蚀机上设置排风系统。

但是，目前大多数刻蚀机的排风系统是直接将气体排放到大气中，直接排放这些酸性或碱性气体会污染环境，另外也会腐蚀其它设备的重要部件，造成不必要的损失。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对上述问题，提供一种用于制作太阳能电池片的表面刻蚀排风系统，可将气体中的酸性或碱性物质中和后再排放到空气中去。

为实现上述目的，本实用新型采用的方法是：一种用于制作太阳能电池片的表面刻蚀排风系统，包括刻蚀槽、盖合在刻蚀槽上端的槽盖；所述槽盖上架设有排风横管，所述排风横管下端设有通风细管，所述通风细管将排风横管及刻蚀槽连通，所述排风横管上端连通有抽气管，所述抽气管中间还密封连接有吸收中和装置。

作为本实用新型的一种改进，所述吸收中和装置包括连接环及固接在连接环中间用于放置中和物质的容置网。

作为本实用新型的一种改进，所述吸收中和装置的连接环通过法兰和螺栓配合固接在所述抽气管上，所述容置网位于抽气管内。

作为本实用新型的一种改进，所述通风细管共有四个。

作为本实用新型的一种改进，所述排风横管通过两侧的固接座固接在所述槽盖上，所述固接座分为底座和上座，所述底座固接在槽盖上，所述上座通过螺栓与底座固接。

有益效果：

1、一种用于制作太阳能电池片的表面刻蚀排风系统，利用通风细管将刻蚀槽内的气体集中到排风横管中，然后通过抽气管将排风横管内的气体全部抽走，在抽气管上设置吸收中和装置避免气体中的酸性或碱性物质直接排放出去，保护了环境，也确保其它生产设备遭到腐蚀；

2、吸收中和装置可拆卸的连接在抽气管，以便其中的中和物质失效后方便更换。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是吸收中和装置的结构示意图。

图中各构件为：

1-刻蚀槽，2-槽盖，3-排风横管，4-通风细管，5-抽气管，6-吸收中和装置，601-连接环，602-容置网，7-固接座，701-底座，702-上座。

具体实施方式

下面结合实施例并参照附图对本实用新型作进一步描述，应理解下述具体实施方式仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是幅图中的方向，词语“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。