[实用新型]一种高纯特种气体的置换面板

说明书

本实用新型公开了一种高纯特种气体的置换面板，涉及高纯特种气体领域，包括连接管、高压氦气管、低压氦气管、排气管、抽气管、高压氦气储存装置、尾气处理装置、真空泵、高压氦气阀、减压阀、低压氦气阀、排空阀、隔断阀；所述高压氦气管、低压氦气管、排气管、抽气管并联设置，共同连接所述连接管；所述高压氦气管、低压氦气管均连接所述高压氦气储存装置，所述高压氦气管上设有高压氦气阀，所述低压氦气管上设有减压阀和低压氦气阀；所述排气管连接所述尾气处理装置，所述排气管上设有排空阀；所述抽气管连接所述真空泵；所述连接管上设有第四压力表和隔断阀。本实用新型的优点在于：保证产品的纯度和工作环境的安全性。

技术领域

本实用新型涉及高纯特种气体领域，尤其涉及一种高纯特种气体的置换面板。

背景技术

作为集成电路产业关键原材料的高纯特种气体，不仅在集成电路产业中占有重要的地位，其在太阳能光伏、平面显示器、化合物半导体器件、石油化工、光纤通讯等领域也都有着不可或缺的作用，广泛应用在薄膜、掺杂、刻蚀、扩散、气相沉积等工艺中。随着科学技术的发展，对于高纯特种气体的品质要求也越来越高，一般对于气体的纯度要求要大于99.9999％，其杂质总浓度不高于1ppm(ppm表示百万分之一)。

高纯特种气体的运输是借助钢瓶等压力容器，通常将气体通过管道输送，盛装于钢瓶内。如果连接管道置换不干净或者存在漏点，则会引入新的杂质，从而使得产品纯度无法保证99.9999％；且特种气体通常具有剧毒、爆炸范围宽、极易与氧气反应等特征，这些属性，让其在充装拆接时的置换操作显得尤其重要，而这一操作的实施载体就是置换面板。现有的置换面板不便于排除漏点，不能保证整个系统的密闭性。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够保证整个系统的密闭性的高纯特种气体的置换面板。

本实用新型是通过以下技术方案解决上述技术问题的：一种高纯特种气体的置换面板，包括连接管(14)、高压氦气管(15)、低压氦气管(16)、排气管(17)、抽气管(18)、高压氦气储存装置(19)、尾气处理装置(20)、真空泵(21)、高压氦气阀(26)、减压阀(27)、低压氦气阀(28)、排空阀(29)、隔断阀(32)；所述高压氦气管(15)、低压氦气管(16)、排气管(17)、抽气管(18)并联设置，共同连接所述连接管(14)；所述高压氦气管(15)、低压氦气管(16)均连接所述高压氦气储存装置(19)，所述高压氦气管(15)上设有高压氦气阀(26)，所述低压氦气管(16)上设有减压阀(27)和低压氦气阀(28)；所述排气管(17)连接所述尾气处理装置(20)，所述排气管(17)上设有排空阀(29)；所述抽气管(18)连接所述真空泵(21)；所述连接管(14)上设有第四压力表(25)和隔断阀(32)。置换面板不仅是置换操作的载体，还可以通过第四压力表对连接的管路系统进行高压测外漏，排除漏点从而保证整个系统的密闭性。

作为优化的技术方案，所述高压氦气管(15)上从所述高压氦气储存装置(19)到所述连接管(14)之间依次设有第一压力表(22)和高压氦气阀(26)。

作为优化的技术方案，所述低压氦气管(16)上从所述高压氦气储存装置(19)到所述连接管(14)之间依次设有减压阀(27)、第二压力表(23)和低压氦气阀(28)。

作为优化的技术方案，所述抽气管(18)上从所述真空泵(21)到所述连接管(14)之间依次设有第一抽空阀(30)、第三压力表(24)和第二抽空阀(31)。可以用于测量阀门是否存在内漏。

作为优化的技术方案，所述高压氦气储存装置(19)采用高压氦气钢瓶或氦气集装格。

作为优化的技术方案，各压力表均采用数字显示压力表。

作为优化的技术方案，各压力表均连接到自动控制系统。

作为优化的技术方案，各阀门均连接到自动控制系统。