[实用新型]一种水平多层载具

说明书

本实用新型公开一种水平多层载具，包括上底板、下底板、若干槽棒、两把手；所述上底板与下底板平行布置，槽棒两端分别与上底板、下底板连接；所述槽棒的竖直方向上设有若干间隔的水平槽口；所述若干槽棒分布在上底板、下底板形成空间的相对两侧，两侧槽棒的水平槽口相向设置；所述把手沿垂直于槽棒的长度方向布置，每一把手连接于同一侧的所有槽棒。本实用新型主要用于半导体功率器件或太阳能电池片制备过程的载具，可供太阳能电池片或硅片水平放置，使得气体更为均匀，提升太阳能电池片或者半导体硅片的品质；同时把手的设计有助于其在搬运过程中的稳定性和可靠性，同时有效提高载具的强度，减少气流的阻挡，便于气体均匀地扩散。

技术领域

本实用新型涉及太阳能和半导体技术领域，尤其涉及一种水平多层载具。

背景技术

在太阳能和半导体领域中，扩散、镀膜、氧化、退火等工艺流程需要用到硅片载具，用来装载太阳能电池片。

硅片在低压高温环境下，实现化学反应和分子沉积成膜，成膜后可以通过高温加热扩散，从而实现硅片表面掺杂或者钝化的功能，或者电池工艺过程中通过升温降温减少电池片内应力，总之该工艺过程都会经过高温这一环节，要求载具纯度高，在高温下无污染。对载具的要求，一方面是硅片需要经过高温这一环节，另一方面是随着太阳能电池片生产线对自动化和品质要求的提高，要求载具能满足扩散品质与自动化。

传统硅片的放置方式为竖直插片，一次性插片1200片左右，在高温(扩散、氧化、退火或者镀膜工艺)情况下，竖直插片的形式容易出现硅片变形，自动化插拔过程容易导致碎片率过高，自动化程度越来越困难。现有载具多为垂直放置电池片，存在扩散气体流动会受到干扰或遮挡导致电池片扩散镀膜不均匀的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种水平多层载具，可供太阳能电池片或硅片水平放置，使得气体更为均匀，提升太阳能电池片或者半导体硅片的品质；同时把手的设计有助于其在搬运过程中的稳定性和可靠性，同时有效提高载具的强度，减少气流的阻挡，便于气体均匀地扩散。

为实现上述目的，采用以下技术方案：

一种水平多层载具，包括上底板、下底板、若干槽棒、两把手；所述上底板与下底板平行布置，槽棒两端分别与上底板、下底板连接；所述槽棒的竖直方向上设有若干间隔的水平槽口；所述若干槽棒分布在上底板、下底板形成空间的相对两侧，两侧槽棒的水平槽口相向设置；所述把手沿垂直于槽棒的长度方向布置，每一把手连接于同一侧的所有槽棒。

较佳地，所述下底板呈U型构造，U型开口朝向槽棒所在侧面的相邻一侧。

较佳地，所述槽棒设置为四个，分别为第一槽棒、第二槽棒、第三槽棒、第四槽棒，其中一把手焊接于第一槽棒与第二槽棒上，另一把手焊接于第三槽棒与第四槽棒上。

较佳地，所述把手设于上底板、下底板及若干槽棒形成的中心所在的水平面上。

较佳地，所述把手呈“凸”字型构造，把手的“凸”字型下部两端与同一侧的两槽棒连接，把手的“凸”字型上部朝向上底板与下底板形成空间的外侧。

较佳地，所述若干槽棒的每级水平槽口一一对应在同一平面。

采用上述方案，本实用新型的有益效果是：

1)太阳能电池片水平放置于载具，有效减少对扩散气体的阻碍，使得扩散更为均匀，提升太阳能电池片的品质；载具在气流方向的遮挡物减少，有效减少气流扰动；

2)把手位置的合理设置有助于其在搬运过程中的稳定性和可靠性，同时有效提高载具的强度；

3)下底板呈U型构造以便于配套自动化及减重；

4)槽棒的水平槽口间距可根据不同自动化设备调整，更便捷的配套自动化生产。

附图说明