[实用新型]一种可探测光场分布的光热探测器有效
| 申请号： | 201821291494.3 | 申请日： | 2018-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN208520478U | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 中山科立特光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 528458 广东省中*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 热敏感 孔洞 光场分布 光热 探测器 探测电极 可探测 上表面 探测 本实用新型 检测敏感度 光吸收层 孔洞覆盖 左右两侧 负电极 吸收层 光强 制备 采集 覆盖 吸收 转化 应用 | ||
1.一种可探测光场分布的光热探测器,其特征在于:包括热敏感线(1),所述热敏感线(1)的左右两侧设置有正/负电极(4)，所述热敏感线(1)上表面还设置有多个孔洞(2)，所述热敏感线(1)的上表面覆盖有光吸收层(3)，所述热敏感线(1)的一面设置有与多个与孔洞(2)一一对应的探测电极(5)。
2.如权利要求1所述的一种可探测光场分布的光热探测器,其特征在于:所述孔洞(2)的设置方式为沿热敏感线(1)延伸方向进行间隔排列，所述探测电极(5)设置于热敏感线(1)的侧面。
3.如权利要求1所述的一种可探测光场分布的光热探测器,其特征在于:所述孔洞(2)为方阵排列，并且热敏感线(1)与正/负电极(4)之间设置有导电板(6)，所述探测电极(5)设置于热敏感线(1)的底面。
4.如权利要求1所述的一种可探测光场分布的光热探测器,其特征在于:所述光吸收层(3)为金、银形成的纳米颗粒层。
5.如权利要求1所述的一种可探测光场分布的光热探测器,其特征在于:所述光吸收层(3)为多层结构，由下及上依次为玻璃层(301)、铬层(302)、锗层(303)、硅层(304)、二氧化钛层(305)、二氟化镁(306)。
6.如权利要求5所述的一种可探测光场分布的光热探测器,其特征在于:所述玻璃层(301)的厚度为20～150nm，所述铬层(302)的厚度为150～250nm，所述锗层(303)的厚度为25～45nm，所述硅层(304)的厚度为25～45nm，所述二氧化钛层(305)的厚度为40～60nm，所述二氟化镁(306)的厚度为100～150nm。
7.如权利要求6所述的一种可探测光场分布的光热探测器,其特征在于:所述玻璃层(301)的厚度为35nm，所述铬层(302)的厚度为210nm，所述锗层(303)的厚度为35nm，所述硅层(304)的厚度35nm，所述二氧化钛层(305)的厚度为55nm，所述二氟化镁(306)的厚度为120nm。
8.如权利要求1所述的一种可探测光场分布的光热探测器，其特征在于：所述热敏感线(1)材料包括VOx、Si、SiGe、YBCO或NiO。
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