[实用新型]一种紫外激光输出窗口镜安装装置

说明书

本实用新型公开一种紫外激光输出窗口镜安装装置，包括镜片夹具、夹具安装底座；所述镜片夹具的中间设有镜片安装孔，镜片嵌在该镜片安装孔内，镜片安装孔的周向设有若干间隔的第一安装调节孔；所述夹具安装底座的第一侧面与第二侧面相邻布置，激光器的光线从第一侧面射入，从第二侧面射出，且第一侧面与第二侧面呈布儒斯特角设置；所述夹具安装底座的第二侧面设有透射凹槽，透射凹槽的顶部周向设有若干与第一安装调节孔一一对应的第二安装调节孔；所述夹具安装底座的第一侧面至透射凹槽开设透射通孔，以使激光器的光线依次通过透射通孔、透射凹槽、镜片后射出。本实用新型解决紫外激光输出窗口镜更换频繁的问题。

技术领域

本实用新型涉及固体激光器技术领域，尤其涉及一种紫外激光输出窗口镜安装装置。

背景技术

半导体端面泵浦固体激光器结构简单、体积小巧、光束质量好、运行稳定、易于集成，因此被广泛应用在激光打标、激光划线、精密调阻、激光清洗以及激光内雕等激光加工行业。

随着工业应用对激光加工效果及加工效率要求的不断提高，市场对激光器输出波长的要求也越来越高。紫外激光器输出波长仅为目前使用的红外激光器的三分之一，加工精度极大提高，可以实现微米量级的精细加工；紫外激光的光子能量是普通红外激光光子能量的三倍，使得激光冷加工成为可能，应用范围与得到了极大的拓展；另外，355nm紫外激光器的重复频率极高，从而提高了生产效率、节约了社会成本、降低了能耗。在实际应用中，355nm紫外激光器为微加工中的切除动作提供了新的工具，在非常薄的材料冷切除中得到了很高的加工质量，不会给材料造成热损伤和微裂痕。因此，在例如玻璃、硅片、晶元、陶瓷等脆性材料的加工上有特殊优势。

固体紫外激光器内部元器件需要进行密封，以便隔绝外部环境对激光器的干扰。激光器输出窗口镜是实现激光输出并隔绝外部环境干扰的关键器件，输出窗口镜一般采用玻璃材质。由于紫外激光的单光子能量过于强大，紫外激光从玻璃镜片上长期透射会损坏玻璃镜片内部结构，引起玻璃镜片的损伤，导致紫外激光功率下降及光斑质量恶化，最终影响到紫外激光加工的工艺效果。因此，紫外激光输出窗口镜，尤其是高功率紫外激光输出窗口镜，经常要更换镜片。特别地，紫外激光器谐振腔内对空气洁净度的要求极高，绝对禁止在非洁净环境下更换紫外激光输出窗口镜，要求必须返厂更换，从而大大增加了紫外激光器的使用成本。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种紫外激光输出窗口镜安装装置，解决紫外激光输出窗口镜更换频繁的问题。

为实现上述目的，采用以下技术方案：

一种紫外激光输出窗口镜安装装置，包括镜片夹具、夹具安装底座；所述镜片夹具的中间设有镜片安装孔，镜片嵌在该镜片安装孔内，镜片安装孔的周向设有若干间隔的第一安装调节孔；所述夹具安装底座的第一侧面与第二侧面相邻布置，激光器的光线从第一侧面射入，从第二侧面射出，且第一侧面与第二侧面呈布儒斯特角设置；所述夹具安装底座的第二侧面设有透射凹槽，透射凹槽的顶部周向设有若干与第一安装调节孔一一对应的第二安装调节孔；所述镜片夹具的第一安装调节孔与夹具安装底座的第二安装调节孔经连接件可拆卸式连接；所述夹具安装底座的第一侧面至透射凹槽开设透射通孔，以使激光器的光线依次通过透射通孔、透射凹槽、镜片后射出。

较佳地，所述镜片夹具上还设有两辅助调节孔，用于卡接固定外部调节工具。

较佳地，所述若干第一安装调节孔、若干第二安装调节孔均匀间隔布置。

较佳地，所述第一安装调节孔、第二安装调节孔均设置为8个。

较佳地，所述镜片安装孔的一侧周向设有凸台结构，镜片夹具经该凸台结构卡入透射凹槽。

较佳地，所述输出窗口镜安装装置还包括第一密封圈；所述凸台结构的外侧周向设有第一环形凹槽，第一密封圈内嵌在第一环形凹槽。