[实用新型]用于设备的支撑脚

说明书

本实用新型涉及一种用于设备的支撑脚。所述支撑脚包括：连接部件，所述连接部件用于将所述支撑脚连接到所述设备；固定部件，所述固定部件用于将所述设备机械固定到安装场地的地面上，并且所述固定部件能够伸缩以便适应所述安装场地的大小；和吸附部件，所述吸附部件用于将所述设备吸附固定到所述安装场地的地面上。所述连接部件的一端与吸附部件固定连接，所述固定部件设置在吸附部件的顶部上并且被连接部件延伸穿过。该支撑脚具有机械固定和吸附固定两种功能，从而改善了设备固定的可靠性和抗震动性能。与传统的支撑脚相比，该支撑脚不需要额外购买固定架、避免了二次安装以及因此而可能引起的二次定位，节省了费用和劳动力成本。

技术领域

本公开涉及半导体制造设备领域，具体来说，本公开涉及用于设备(例如，半导体制造设备)的支撑脚。

背景技术

由于半导体行业对产品及其制造设备具有较高的精度要求，因此，对设备的固定和抗震动性能具有较高的要求。设备通常通过支撑脚来实现固定。但是，目前的支撑脚结构单一，通常为在金属支撑脚下面加个皮垫的结构。为了防止设备移动，还需要在支撑脚外面加装固定件(通常为固定铁块，也可称为防震脚)。这样，不仅要购买额外的配件进行多次安装，还有可能需要对已经定位好的设备进行二次定位。

为了防止设备的震动，在目前的设备安装中还通常使用防震架。类似地，这需要额外购买防震架，并且需要在通过支撑脚实现设备的固定之后额外安装防震架。额外购买防震架以及额外安装防震架将导致额外增加费用和劳动力成本。

因此，需要一种能够解决上述问题中的一个或多个的支撑脚。

实用新型内容

根据本公开的一个方面，提供了一种用于设备的支撑脚。所述支撑脚包括：连接部件，所述连接部件用于将所述支撑脚连接到所述设备；固定部件，所述固定部件用于将所述设备机械固定到安装场地的地面上，并且所述固定部件能够伸缩以便适应所述安装场地的大小；和吸附部件，所述吸附部件用于将所述设备吸附固定到所述安装场地的地面上。所述连接部件的一端与所述吸附部件固定连接，所述固定部件设置在所述吸附部件的顶部上并且被所述连接部件延伸穿过。

根据本公开的一个实施例，所述吸附部件包括吸盘，所述吸盘具有中空的内腔并且吸盘的底部设置有通向所述内腔的一个或多个排气孔，所述排气孔用于排出所述内腔中的空气，以便在所述内腔中形成负压。

根据本公开的一个实施例，所述支撑脚还包括排气阀，所述排气阀构造成在其处于打开位置时允许空气从外部环境进入所述吸盘的内腔，从而使所述内腔中的负压降低以便于移动所述设备。

根据本公开的一个实施例，所述排气阀包括外部空气进出口、内部空气进出口、使所述外部空气进出口和所述内部空气进出口能够流体连通的通道、以及用于关闭或打开所述通道的阀组件。

根据本公开的一个实施例，所述阀组件包括：推拉杆，所述推拉杆能够沿水平方向运动；一个或多个可枢转元件，所述一个或多个可枢转元件的一端附接于所述推拉杆，并且所述一个或多个可枢转元件在所述推拉杆沿水平方向运动时能够围绕位于所述可枢转元件的中部处的枢转点枢转；和密封件，所述密封件附接于所述一个或多个可枢转元件的另一端，用于在所述排气阀处于关闭位置时密封所述通道。

根据本公开的一个实施例，所述排气阀还包括：第一限位部，所述第一限位部对所述推拉杆沿水平方向的运动进行限制；和第二限位部，所述第二限位部对所述密封件的运动进行限制并能够与所述密封件密封接合。

根据本公开的一个实施例，所述吸附部件还包括布置于所述吸盘的顶部的金属压盘，所述金属压盘有助于对所述吸盘施压并有助于保护所述吸盘。

根据本公开的一个实施例，所述固定部件具有呈长形的可伸缩套筒的结构。

根据本公开的一个实施例，所述固定部件还能够围绕所述连接部件进行360°的旋转。