[实用新型]顶针机构及反应腔室

权利要求书

1.一种顶针机构，包括顶针及用于驱动所述顶针上升或下降的驱动源，其特征在于，所述驱动源为直线驱动源；

所述直线驱动源包括直线运动气缸和真空波纹管，所述直线运动气缸与所述真空波纹管同轴线一体设置；所述顶针与所述真空波纹管连接，所述直线运动气缸通过所述真空波纹管驱动所述顶针上升或下降。

2.根据权利要求1所述的顶针机构，其特征在于，所述直线运动气缸包括缸体、活塞及活塞杆，所述真空波纹管包括管体、波纹片及导向杆，其中，所述管体的下端与所述缸体的上端连接，所述管体的上端为封闭端，且所述管体的内部设有横向隔板，所述封闭端和所述横向隔板分别设有位置对应的导向孔，所述导向杆穿设在所述导向孔中，且所述导向杆的下端与所述活塞杆连接；所述导向杆的上端与所述顶针连接；所述导向杆的周壁上环绕设置有凸缘；

所述波纹片套设在所述导向杆上，且所述波纹片的两端分别与所述凸缘和所述封闭端密封连接。

3.根据权利要求2所述的顶针机构，其特征在于，在所述缸体的上端设置有第一连接部，且在所述管体的下端设置有第二连接部，所述第一连接部与所述第二连接部通过螺纹相互旋接。

4.根据权利要求2所述的顶针机构，其特征在于，所述导向杆的上端设置有顶针紧固件，用于固定所述顶针。

5.根据权利要求2所述的顶针机构，其特征在于，所述导向杆的下端设置有连接件，且在所述活塞杆的上端设置有卡槽，所述连接件位于所述卡槽内，且与所述卡槽相配合，以使所述活塞杆与所述导向杆固定在一起。

6.根据权利要求5所述的顶针机构，其特征在于，所述连接件呈球状，且所述卡槽的形状与所述连接件相适配。

7.根据权利要求5所述的顶针机构，其特征在于，所述连接件为相对于所述导向杆的周壁凸出的环形凸台；所述卡槽包括由上而下依次设置的第一凹槽和第二凹槽，其中，所述第一凹槽和所述第二凹槽朝向所述活塞杆的一侧周壁敞开，且所述第一凹槽卡住所述导向杆，所述第二凹槽卡住所述环形凸台。

8.根据权利要求1-7任意一项所述的顶针机构，其特征在于，所述顶针的数量为多个，所述直线驱动源的数量与所述顶针的数量相对应，各个所述直线驱动源一一对应地驱动各个所述顶针上升或下降。

9.一种反应腔室，包括顶针机构，其特征在于，所述顶针机构采用本申请权利要求1-8中任一所述的顶针机构。