[实用新型]一种新型的LED外延片托盘

说明书

一种新型的LED外延片托盘，包括托盘本体，该托盘本体的顶面开设有六个孔径相当的圆形外围放置槽以及一个中间放置槽，该中间放置槽的孔径小于圆形外围放置槽的孔径，所述六个圆形外围放置槽沿着圆周方向分布于中间放置槽的外围，每个圆形外围放置槽的外周上设有间隔布置的三个切口，该三个切口其中一个为外沿切口，其余两个切口为连通切口，所述外沿切口靠近托盘本体的外周，相邻的两连通切口互相连通，所述圆形外围放置槽的外周设有与其连通的取片槽，该取片槽靠近托盘本体的中心处。所述圆形外围放置槽的形状设置使得在不改变原来LED外延片的情况下，托盘本体的顶面可以设置六个圆形外围放置槽，这样每次生产过程中LED外延片的生产量可达到六片。

技术领域

本实用新型涉及一种托盘，具体的说是指一种新型的LED外延片托盘。

背景技术

LED外延片是指在一块加热至适当温度的衬底基片(主要有蓝宝石、SiC、Si等)上所生长出的特定单晶薄膜。外延片处于LED产业链中的上游环节，是半导体照明产业技术含量最高、对最终产品品质、成本控制影响最大的环节。在LED外延片加工中，需要将外延片基材放置于托盘上进行半导体镀层的喷覆，目前的托盘包括托盘本体，该托盘本体的顶面设有五个圆形的放置槽，该五个放置槽间隔地布置，该托盘放置槽的设置使得LED外延片在生产时每次只能生产五片，托盘的面积没有充分利用，生产效率有待提高。

实用新型内容

本实用新型提供的是一种新型的LED外延片托盘，其主要目的在于克服现有LED外延片托盘的面积没有充分利用，造成生产效率低的问题。

为了解决上述的技术问题，本实用新型采用如下的技术方案：

一种新型的LED外延片托盘，包括托盘本体，所述托盘本体的顶面开设有六个孔径相当的圆形外围放置槽以及一个中间放置槽，该中间放置槽的孔径小于圆形外围放置槽的孔径，所述六个圆形外围放置槽沿着圆周方向分布于中间放置槽的外围，每个圆形外围放置槽的外周上设有间隔布置的三个切口，该三个切口其中一个为外沿切口，其余两个切口为连通切口，所述外沿切口靠近托盘本体的外周，相邻的两连通切口互相连通，所述圆形外围放置槽的外周设有与其连通的取片槽，该取片槽靠近托盘本体的中心处。

进一步的，所述外沿切口的两端均通过第一圆弧部与托盘本体的外周连接，相邻的两连通切口的两端通过第二圆弧部连接。

进一步的，所述托盘本体的厚度为1.2mm，所述圆形外围放置槽及中间放置槽的深度为0.6mm。

进一步的，所述托盘本体由单晶硅制成。

进一步的，所述取片槽为圆弧形取片槽。

由上述对本实用新型的描述可知，和现有技术相比，本实用新型具有如下优点：本实用新型结构新颖、设计巧妙，所述圆形外围放置槽的形状设置使得六个圆形外围放置槽在不改变原来LED外延片的情况下，托盘本体的顶面可以设置六个圆形外围放置槽，这样每次生产过程中LED外延片的生产量可达到六片，进而提高LED外延片的生产效率。

附图说明

图1为本实用新型的俯视图。

具体实施方式

参照图1。一种新型的LED外延片托盘，包括托盘本体1，该托盘本体1的顶面开设有六个孔径相当的圆形外围放置槽2以及一个中间放置槽3，该中间放置槽3的孔径小于圆形外围放置槽2的孔径，所述六个圆形外围放置槽2沿着圆周方向分布于中间放置槽3的外围。每个圆形外围放置槽2的外周上设有间隔布置的三个切口，该三个切口其中一个为外沿切口21，其余两个切口为连通切口22，所述外沿切口21靠近托盘本体1的外周，相邻的两连通切口22互相连通。所述圆形外围放置槽2的外周设有与其连通的取片槽4，该取片槽4靠近托盘本体1的中心处，所述取片槽4为圆弧形取片槽。