[实用新型]一种旋涂胶液回收系统

说明书

本实用新型公开了一种旋涂胶液回收系统，包括旋涂室，所述旋涂室内设置有旋涂装置基座，所述旋涂装置基座上连有转轴，所述转轴连有旋转平台，所述旋转平台上设置有待涂布基底，所述旋涂室内设置有位于所述待涂布基底下方的集液槽，所述集液槽下端的排液口连有排液管的上端，所述排液管的下端连有回收槽。本实用新型的一种旋涂胶液回收系统,能够回收涂布过程中溅射浪费的胶液，节约材料成本。

技术领域

本实用新型涉及一种旋涂胶液回收系统，属于旋涂胶液回收领域。

背景技术

旋转涂布法(简称旋涂)是一种常见的在基板上使用离心力进行薄膜沉积的方法。该方法制程简单，成膜均匀性较好。然而，该方法对旋涂胶液的利用率较低，往往只有10％-20％甚至更低。大部分旋涂胶液在高速旋转的过程中被损耗，在薄膜制程过程中会造成严重的成本浪费。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，克服现有技术的缺陷，提供一种能够回收涂布过程中溅射浪费的胶液，节约材料成本的旋涂胶液回收系统。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：

一种旋涂胶液回收系统，包括旋涂室，所述旋涂室内设置有旋涂装置基座，所述旋涂装置基座上连有转轴，所述转轴连有旋转平台，所述旋转平台上设置有待涂布基底，所述旋涂室内设置有位于所述待涂布基底下方的集液槽，所述集液槽下端的排液口连有排液管的上端，所述排液管的下端连有回收槽。

所述回收槽连有第一导气管的一端，所述第一导气管的另一端连有真空腔，所述真空腔连有真空泵的进气口，所述真空腔与所述第一导气管连接处设置有第一气体阀门，所述真空腔与所述真空泵的进气口连接处设置有第二气体阀门。

所述集液槽内设置有导流装置。

所述待涂布基底上方设置有气体冲刷器，所述气体冲刷器通过第二气体导管连有储气室，所述储气室连有充气泵的进气口，所述储气室与所述第二气体导管连接处设置有第三气体阀门，所述储气室与所述充气泵的进气口连接处设置有第四气体阀门。

所述待涂布基底上方设置有液体冲刷器，所述液体冲刷器通过第一导液管连有储液槽，所述储液槽连有蓄液槽，所述储液槽与所述第一导液管连接处设置有第一水阀，所述蓄液槽的出水处设置有第二水阀，所述储液槽内设置有控制所述第二水阀的液面检测器。

所述回收槽内设置有回收槽液面检测器，所述回收槽与所述液体分离装置连接处设置有所述回收槽液面检测器控制的第三水阀，所述回收槽与液体分离装置相连通，所述液体分离装置连有水泵的进水口，所述水泵的出水口设置在所述蓄液槽的上方，所述液体分离装置的下方连通有胶液回收槽。

所述回收槽通过导液管与储液瓶相连通，所述回收槽内设置有液面监测器，所述回收槽与所述导液管的连接处设置有所述液面监测器控制的水阀。

所述回收槽通过虹吸管与储液瓶相连通，虹吸管的进水口设置在所述回收槽内，出水口设在所述储液瓶内，所述回收槽内设置有液面监测器，所述虹吸管的进水口处设置有所述液面监测器控制的水阀。

所述回收槽连有水泵的进水口，所述水泵的出水口连有储液瓶，所述回收槽内设置有液面监测器，所述回收槽与所述水泵的进水口连接处设置有所述液面监测器控制的水阀。