[实用新型]一种减少扩散补偿氮用量的扩散炉尾气管装置有效
申请号: | 201821226200.9 | 申请日: | 2018-08-01 |
公开(公告)号: | CN208507709U | 公开(公告)日: | 2019-02-15 |
发明(设计)人: | 陈磊;蒋文杰;金雷 | 申请(专利权)人: | 盐城天合国能光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67;H01L21/22 |
代理公司: | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人: | 唐绍焜 |
地址: | 224000 江苏省盐*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 尾气管 外围 扩散炉 抽力 酸排 本实用新型 氮用量 加装 恒定 扩散 步骤气体 负压作用 管内压力 气体流量 微量补偿 抽负压 耗氮量 内压力 稳定管 管内 削减 平衡 优化 | ||
1.一种减少扩散补偿氮用量的扩散炉尾气管装置,其特征在于:包括外围酸排通道、扩散炉的尾气管以及在所述外围酸排通道与所述尾气管连接处加装的外围抽力装置。
2.根据权利要求1所述的扩散炉尾气管装置,其特征在于:在所述尾气管末端安装有用于检测尾气管的气体压力的尾气压力检测装置,在所述外围酸排通道进口处安装有用于检测外围酸排抽力的外围压力检测装置;在所述外围抽力装置上设有处理器,所述处理器分别与所述尾气管末端安装的尾气压力检测装置和所述外围酸排通道进口处安装的外围压力检测装置连接,并接收其检测得到的尾气管的气体压力和外围酸排抽力,并进行计算得到需调节的外围抽负压大小;所述处理器与所述外围抽力装置的电机连接,并根据其计算得到的需调节的外围抽负压大小调节电机工作,进而调节外围抽负压大小,使得外围抽力等于尾气管抽力。
3.根据权利要求1所述的扩散炉尾气管装置,其特征在于:所述处理器设有无线通信模块,所述处理器通过所述无线通信模块与后台的监控计算机连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的