[实用新型]一种低温真空镀膜装置有效
申请号: | 201821220605.1 | 申请日: | 2018-08-01 |
公开(公告)号: | CN208562505U | 公开(公告)日: | 2019-03-01 |
发明(设计)人: | 徐自强;周健;邱暾哲 | 申请(专利权)人: | 苏州太星新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/56;C23C14/52 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215100 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 水箱 真空罐 架体 水泵 本实用新型 低温真空 顶端安装 镀膜装置 导流管 进水管 输出端 真空泵 壳体 电机 顶端连接 内部安装 喷洒装置 水冷降温 水箱内部 导气管 拐角处 驱动轴 底端 镀膜 转轴 水管 车轮 | ||
本实用新型公开了一种低温真空镀膜装置,包括喷洒装置、真空罐、架体和水箱,所述架体底端的四个拐角处均安装有车轮,所述架体的顶端安装有水箱,且水箱内部底部的一端安装有水泵,所述水箱的另一侧安装有加水管,所述架体远离水箱的一侧均安装有真空泵,所述架体的顶端安装有真空罐,所述真空泵的输出端均通过导气管与真空罐一侧的顶端连接,所述真空罐的底端安装有壳体,所述壳体的内部安装有电机,且电机的输出端通过驱动轴安装有转轴。本实用新型通过安装有水箱、进水管、导流管和水泵,便于通过水泵将水箱里的水通过进水管抽入导流管,从而对真空罐的内部水冷降温,加速了装置镀膜的效率。
技术领域
本实用新型涉及真空电镀技术领域,具体为一种低温真空镀膜装置。
背景技术
利用真空蒸发技术在工件表面镀保护膜的技术,已经成熟应用于工业生产,真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,镀的材料被称为靶材,产品与靶材同在真空环境中。
现有的镀膜装置仍然存在一些不足,现有的镀膜装置也必须在高温条件下形成较密的膜层,塑料制品等不能耐受高温,否则将引起产品变形,而且现有的镀膜装置在镀膜时采用自然冷却的方法,这样造成镀膜时间较长,并且镀膜装置不能适用于不同尺寸的产品,从而使得装置使用性相对单一,并且现有的镀膜装置也无法体现节约能源的功能。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种低温真空镀膜装置,以解决上述背景技术中提出的不能快速降温、不能适应不同尺寸以及无法节能的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种低温真空镀膜装置,包括喷洒装置、真空罐、架体和水箱,所述架体底端的四个拐角处均安装有车轮,所述架体的顶端安装有水箱,且水箱内部底部的一端安装有水泵,所述水箱的另一侧安装有加水管,所述架体远离水箱的一侧均安装有真空泵,所述架体的顶端安装有真空罐,所述真空泵的输出端均通过导气管与真空罐一侧的顶端连接,所述真空罐的底端安装有壳体,所述壳体的内部安装有电机,且电机的输出端通过驱动轴安装有转轴,所述转轴的顶端穿过真空罐的底端延伸至真空罐内部的顶端,所述转轴的两端均匀设置有预留块,所述转轴上均安装有置物台,且置物台靠近转轴的一端均设置有与预留块相互配合的预留槽,所述真空罐内部靠近置物台的一端均安装有导流管,所述水泵的输出端通过进水管与导流管的一端连接,所述导流管的另一端安装有出水管,且出水管的底端穿过水箱的顶端延伸至水箱的内部,所述真空罐的顶端安装有喷洒装置,且喷洒装置顶端的中间位置处设置有加气管,所述喷洒装置的底端均匀设置有喷头,所述真空罐远离置物台的另一端通过铰接轴安装有门体,且门体远离铰接轴的一端安装有控制面板。
优选的,所述导流管均呈蛇形固定在真空罐内部的两端,导流管分别与进水管和出水管固定连接。
优选的,所述壳体与真空罐构成一体焊接结构,且壳体、真空罐与转轴三者的中心线处于水平位置上。
优选的,所述导气管的个数设置有两个,且导气管关于架体的垂直中心线对称分布。
优选的,所述门体靠近控制面板的一侧安装有观察窗,所述门体靠近控制面板的另一侧安装有门把。
优选的,所述置物台通过预留槽与预留块构成拆卸安装结构,所述预留槽的外侧壁上均匀设置有内螺纹,所述预留块的外侧壁上均设置有内螺纹相互配合的外螺纹,所述预留块等间距排列在转轴的两侧。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州太星新材料科技有限公司,未经苏州太星新材料科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821220605.1/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:蒸镀坩埚盖及蒸镀坩埚
- 下一篇:一种靶材
- 同类专利
- 专利分类