[实用新型]产品辅助检测设备及其检测系统

说明书

本实用新型提供一种产品检测系统及辅助检测设备，该检测系统包括：图像拾取装置，用于获取待检测的产品的图像；图像显示装置，用于显示所获取的图像；产品辅助检测设备，用于承载多个待检测的产品，包括：移动平台，包括：第一移动机构，可沿着第一方向前后移动；具有承载表面的第二移动机构，该承载表面位于第一移动机构之上且可相对于第一移动机构沿着与第一方向垂直的第二方向移动，该承载表面用于承载所述待检测产品，以及控制台，用于控制所述第一移动机构与第二移动机构的移动以便所述图像拾取装置获取多个待检测的产品中每个产品的图像。根据本实用新型的方案，不但可以保证恒定的产生图像的质量，而且还可以提高检测效率。

技术领域

本实用新型涉及产品检测技术，特别是辅助检测辅助设备。

背景技术

在半导体器件的生产封装过程中，通常需要对封装的每一个产品进行产品封装质量检测，而利用电子显微镜检测就是常用的一种方法。生产线上的操作人员利用电子显微镜聚焦每个半导体器件，并将观察到的图像通过显示屏显示出来。操作人员利用在显示屏上放大显示的半导体器件的图像就可以判断出产品质量。通常为便于快速查看，操作人员通常利用一个托盘一次盛放多个半导体器件，在操作台通过不断地手动移动托盘而将其中的每个半导体器件置于显微镜下，来逐个地检测每个器件。而这就会带来二个问题。首先，由于手的抖动原因，会导致并不是每个器件都会置于焦点上，即相对于显微镜焦点的垂直距离会变长或变短，因此会导致聚焦不稳而进一步导致图像不清楚。其次，由于手动移动托盘的速度不稳定，不可避免地会存在忽快忽慢的现象，因此也会导致图像不清楚。以上问题会影响半导体器件的检测质量及效率。

发明内容

本实用新型正是为解决上述问题而提出。

根据本实用新型的一个方面，提供一种产品辅助检测设备，用于承载多个待检测的产品，包括：移动平台，包括：第一移动机构，可沿着第一方向前后移动；具有承载表面的第二移动机构，该承载表面位于第一移动机构之上且可相对于第一移动机构沿着与第一方向垂直的第二方向移动，该承载表面用于承载所述待检测产品；以及控制台，用于控制所述第一移动机构与第二移动机构的移动以使多个待检测的产品中每个产品通过检测。

根据本实用新型的另一方面，提供一种产品检测系统，包括：图像拾取装置，用于获取待检测的产品的图像；图像显示装置，用于显示所获取的图像；产品辅助检测设备，用于承载多个待检测的产品，包括：移动平台，包括：第一移动机构，可沿着第一方向前后移动；具有承载表面的第二移动机构，该承载表面位于第一移动机构之上且可相对于第一移动机构沿着与第一方向垂直的第二方向移动，该承载表面用于承载所述待检测产品，以及控制台，用于控制所述第一移动机构与第二移动机构的移动以便所述图像拾取装置获取多个待检测的产品中每个产品的图像。

附图说明

图1是根据本实用新型一个实施例的产品检测系统的示意图；

图2是根据本实用新型一个实施例的辅助检测设备的示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型实施例提供的辅助检测系统进行详细说明。虽然附图中显示了本公开的优选实施方式，然而应该理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了使本公开更加透彻和完整，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。

如图1所示，示出了根据本实用新型一个实施例的产品检测系统的示意图。该产品检测系统包括图像拾取装置100、显示装置200以及辅助检测设备300。图像拾取装置100可以是适用于捕获目标图像的任何光学成像系统或电子成像系统等，例如照相机或电子扫描显微镜等。在以下说明中，以显微镜为例予以说明。本实用新型利用电子显微镜100对每个半导体器件进行观测，并将所获取的半导体器件的图像传送给显示装置200。