[实用新型]加工装置

权利要求书

1.一种加工装置，其具有：卡盘，其用于保持基板；加工台，其保持所述卡盘；以及加工轴；所述加工轴包括：用于对基板加工的加工工具、用于驱动所述加工工具的电动机、用于保持所述电动机的电动机保持部、以及使所述电动机保持部升降的升降机构；所述加工装置的特征在于，

在所述电动机上设置有用于将所述电动机安装到所述电动机保持部时使用的吊装部件或吊装部件安装部。

2.根据权利要求1所述的加工装置，其特征在于：

所述吊装部件或所述吊装部件安装部设置在所述电动机的上部。

3.根据权利要求1或2所述的加工装置，其特征在于：

所述吊装部件安装部设置在所述电动机的外壳体上。

4.根据权利要求1或2所述的加工装置，其特征在于：

所述吊装部件或所述吊装部件安装部设置在固定部件上，所述固定部件设置于所述电动机的外壳体上。

5.根据权利要求4所述的加工装置，其特征在于：

所述吊装部件安装部为螺纹孔，所述固定部件为带有螺纹孔的支架。

6.根据权利要求1或2所述的加工装置，其特征在于：

所述吊装部件具有把手部、或者呈环状或钩状的连接部。

7.根据权利要求1或2所述的加工装置，其特征在于：

在所述电动机的上部延伸出电动机驱动用的电源配线。

8.根据权利要求1或2所述的加工装置，其特征在于：

所述电动机和所述电动机保持部的底部之间通过连接部件固定连接。

9.根据权利要求1或2所述的加工装置，其特征在于：

所述吊装部件或所述吊装部件安装部形成有多个，各设置位置之间的连线的中心或连线所形成的图形的重心位于所述电动机的中心轴线。

10.根据权利要求1或2所述的加工装置，其特征在于：

其具有多个所述加工轴和多个所述卡盘，

各所述加工轴分别具有用于调节所述电动机保持部在上下方向上平衡的平衡汽缸，

多个所述加工轴中的第1加工轴具有用于使所述电动机保持部向水平方向移动的水平方向移动机构，

多个所述加工轴中的第2加工轴与所述第1加工轴并列设置，

在所述第2加工轴中，从加工台侧朝向加工轴侧依次设置有第2电动机保持部、第2升降电动机、以及第2平衡汽缸，

在所述第1加工轴中，从加工台侧朝向加工轴侧依次设置有第1电动机保持部和第1升降电动机，第1平衡汽缸相对于第1升降电动机配置在所述水平方向移动机构的移动方向上。