[实用新型]用于激光加工的多功能监测系统

权利要求书

1.一种用于激光加工的多功能监测系统，其特征在于：包括分光模块(1)、监测镜头(2)、成像组件(5)、运动模块(6)和计算机(7)；

所述分光模块(1)安装在激光加工光路中，激光光束经分光模块(1)分为两路，其中一路被分光模块(1)折转90°进入监测镜头(2)，另一路穿过分光模块(1)实现激光加工；

所述监测镜头(2)和成像组件(5)设置在分光模块(1)的反射光路上；

所述运动模块(6)实现成像组件(5)的移动；

所述监测镜头(2)包括光学系统；所述成像组件(5)包括探测器和成像电路板；

所述计算机(7)与探测器连接，用于对采集到的图像进行分析。

2.根据权利要求1所述的用于激光加工的多功能监测系统，其特征在于：所述光学系统为远心平场镜头，包括从物面到像面(25)依次设置的光阑(21)、第一正透镜(22)、第一负透镜(23)和第二正透镜(24)。

3.根据权利要求2所述的用于激光加工的多功能监测系统，其特征在于：所述第一正透镜(22)的折射率nd>1.75、色散系数vd<50；所述第一负透镜(23)的折射率nd<1.65、色散系数vd>30；所述第二正透镜(24)的折射率nd>1.75、色散系数vd<50。

4.根据权利要求3所述的用于激光加工的多功能监测系统，其特征在于：所述第一正透镜(22)的厚度为3.109mm，入光面的曲率半径为11.969mm，半口径为5.03mm，出光面的曲率半径为19.639mm，半口径为4.47mm；

所述第一负透镜(23)的厚度为4mm，入光面的曲率半径为-6.789mm，半口径为2.73mm，出光面的曲率半径为-13.119mm，半口径为3.28mm；

所述第二正透镜(24)的厚度为3.151mm，入光面的曲率半径为33.207mm，半口径为3.35mm，出光面的曲率半径为-35.899mm，半口径为3.24mm；

所述第一正透镜(22)与第一负透镜(23)的距离是12.59mm，所述第一负透镜(23)和第二正透镜(24)的距离是3.114mm；所述第二正透镜(24)与像面的距离为12mm。

5.根据权利要求4所述的用于激光加工的多功能监测系统，其特征在于：所述分光模块(1)包括分光平板，所述分光平板表面镀制增透膜和抗损伤阈值膜。

6.根据权利要求1至5任一所述的用于激光加工的多功能监测系统，其特征在于：所述监测镜头(2)和成像组件(5)之间还设置有滤光片(3)，所述滤光片(3)为窄带滤光片。

7.根据权利要求6所述的用于激光加工的多功能监测系统，其特征在于：所述监测镜头(2)和成像组件(5)之间还设置挡板(4)。

8.根据权利要求7所述的用于激光加工的多功能监测系统，其特征在于：所述运动模块(6)包括丝杠和导轨，所述成像组件(5)设置在丝杠的螺母上。