[实用新型]一种压电陶瓷片在电载荷下变形量的测试设备

权利要求书

1.一种压电陶瓷片在电载荷下变形量的测试设备，其特征在于，包括机械臂框架(1)、机械臂组件(2)、下电极(3)、2个测量机构(4)、上料台(5)、下料台(6)、平台(7)；机械臂框架(1)安装在平台(7)一侧，将机械臂组件(2)安装在机械臂框架(1)的Z轴导轨上，然后将下电极(3)、上料台(5)、下料台(6)依次安装在机械臂组件(2)运行路线的正下方，最后将2个测量机构(4)对称安装在下电极(3)两侧。

2.如权利要求1所述的一种压电陶瓷片在电载荷下变形量的测试设备，其特征在于，所述机械臂框架(1)由两个支撑柱(1-1)、一个水平运动X轴导轨(1-2)、一个竖直运动Z轴直线导轨(1-3)组成；水平运动X轴导轨(1-2)安装在支撑柱(1-1)上，竖直运动Z轴导轨(1-3)安装在水平运动X轴导轨(1-2)上，水平运动X轴导轨(1-2)可以带动竖直运动Z轴导轨(1-3)沿水平方向运动。

3.如权利要求1或2所述的一种压电陶瓷片在电载荷下变形量的测试设备，其特征在于，所述机械臂组件(2)包含由连接杆(2-1)、T型底座(2-2)、直线导轨(2-3)、连接环(2-5)、套筒(2-6)、弹性探针(2-7)所组成的上电极组件和由气路连接杆(2-9)、固定环(2-13)、T型直线轴承(2-12)、轴承安装座(2-10)、吸附头(2-8)组成的拾取臂组件组成，二者共同安装在底板(2-15)上，通过装有发讯片(2-11)的横梁(2-4)连接，底板(2-15)上装有传感器(2-14)。

4.如权利要求3所述的一种压电陶瓷片在电载荷下变形量的测试设备，其特征在于，所述上电极组件的T型底座(2-2)安装在底板(2-15)上，并与连接杆(2-1)固连，直线导轨(2-3)安装在横梁(2-4)一端，套入连接杆(2-1)，连接杆(2-1)下端依次安装连接环(2-5)、套筒(2-6)和弹性探针(2-7)。

5.如权利要求3所述的一种压电陶瓷片在电载荷下变形量的测试设备，其特征在于，所述拾取臂组件的轴承安装座(2-10)安装在底板(2-15)另一侧，内部装入T型直线轴承(2-12)，再将装有吸附头(2-8)的气路连接杆(2-9)穿过横梁(2-4)和T型直线轴承(2-12)，并在上端用固定环(2-13)固定。

6.如权利要求4-5任意一项所述的一种压电陶瓷片在电载荷下变形量的测试设备，其特征在于，上电极组件和拾取臂组件通过横梁(2-4)连接，横梁(2-4)上装有发讯片(2-11)，底板(2-15)装有传感器(2-14)，该结构是在运行时自动判断弹性探针(2-7)或吸附头(2-8)是否与陶瓷片接触，并发出判别信号，从而实现设备自动化运行；拾取和放置作业时，竖直运动Z轴导轨(1-3)带动机械臂组件(2)下降，吸附头(2-8)与陶瓷片接触，并与底板(2-15)相对运动，带动横梁(2-4)上发讯片(2-11)、传感器(2-14)发出反馈信号，竖直运动Z轴导轨(1-3)即停止运动，上电极组件位置反馈原理与拾取臂组件相同。

7.如权利要求6所述的一种压电陶瓷片在电载荷下变形量的测试设备，其特征在于，所述下电极(3)由下电极体(3-1)、绝缘连接件(3-2)、电动转台(3-3)组成；下电极体(3-1)上开有气孔，连接气路，利用真空负压吸附将陶瓷片固定在下电极上，电动转台(3-3)可带动陶瓷片360°旋转满足对陶瓷片不同方向上的测量需求。

8.如权利要求7所述的一种压电陶瓷片在电载荷下变形量的测试设备，其特征在于，所述测量机构(4)由电感测头(4-1)、测头安装座(4-2)和直线导轨(4-3)组成；测头安装座(4-2)安装在直线导轨(4-3)上，电感测头(4-1)固定在测头安装座(4-2)上，直线导轨(4-3)可带动电感测头(4-1)沿导轨运动，靠近或远离下电极(3)。