[实用新型]发光器件发散角测试装置及测试一体机有效
申请号: | 201821181890.0 | 申请日: | 2018-07-24 |
公开(公告)号: | CN208795190U | 公开(公告)日: | 2019-04-26 |
发明(设计)人: | 刘振辉;王业文;颜华江;杨波 | 申请(专利权)人: | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
主分类号: | G01B11/26 | 分类号: | G01B11/26;G01M11/02 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 任志龙 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 采集组件 发光件 驱动机构 发散角测试 远场发散角 大小信息 发光器件 测量件 一体机 测试 导通 机座 发光 测量 采集 本实用新型 驱动 边缘位置 测试位置 电极接触 测试针 高度差 载片台 承载 | ||
本实用新型公开了一种发光器件发散角测试装置及测试一体机,包括机座,所述机座上设有用于承载被测发光件的载片台、用于与被测发光件电极接触的测试针、用于对被测发光件导通时发光面的截面大小信息进行采集的采集组件、以及用于驱动所述采集组件靠近或远离所述载片台的驱动机构,所述驱动机构上设有用于测量所述采集组件移动距离的测量件,驱动机构可驱动采集组件纵向移动以靠近或远离测试位置,采集组件分别采集两个不同位置被测发光件导通时发光面的截面大小信息,得出光束两个不同截面的边缘位置;同时,通过测量件测量上述两个截面的高度差,从而计算出其夹角,即为该被测发光件的远场发散角,结构简单,且远场发散角的测试更加精准。
技术领域
本实用新型涉及发光件检测技术领域,更具体地说,它涉及一种发光器件发散角测试装置及测试一体机。
背景技术
现有发光件测试系统中,通过测试针接触发光件相应的电极,施加相应的电流后,点亮发光件,对其光参数进行检测,光参数的测试包括几个关键的参数,如光功率波长、远场发散角、近场光斑情况、近场束腰半径等。通常情形,激光谐振腔发出的基模辐射场,其横截面的振幅分布遵守高斯函数,故称高斯光束。高斯光束的传输特性,是在远处沿传播方向成特定角度扩散,该角度即是光束的远场发射角,也就是一对渐近线的夹角,它与波长成正比,与其束腰半径成反比,故而,束腰半径越小,光斑发散越快;束腰半径越大,光斑发散越慢。
发光件测试系统中的载片台用于承载被测发光件,光参数测试装置用于收集被测发光器件导通时发光面的光参数,现有技术中,发光件测试系统中的光参数测试装置在调节过程中较为不便,导致测试出的远场发散角信息与实际不符,有待改进。
实用新型内容
针对上述现有技术的不足,本实用新型的第一目的是提供发光器件发散角测试装置,解决了发光件远场发散角测试不准确的问题。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种发光器件发散角测试装置,包括机座,所述机座上设有用于承载被测发光件的载片台、用于与被测发光件电极接触的测试针、用于对被测发光件导通时发光面的截面大小信息进行采集的采集组件、以及用于驱动所述采集组件靠近或远离所述载片台的驱动机构,所述驱动机构上设有用于测量所述采集组件移动距离的测量件。
通过采用上述技术方案,驱动机构可驱动采集组件纵向移动以靠近或远离测试位置,采集组件分别采集两个不同位置被测发光件导通时发光面的截面大小信息,得出光束两个不同截面的边缘位置;同时,通过测量件测量上述两个截面的高度差,从而计算出其夹角,即为该被测发光件的远场发散角,结构简单,且远场发散角的测试更加精准。
优选的,所述采集组件包括相机、供所述相机安装的安装座和光学测试件,所述相机用于对被测试发光件的发光面进行拍摄以收集其截面大小信息,所述光学测试件与所述相机通信连接、用于接收并分析所述相机所收集的截面大小信息。
通过采用上述技术方案,在测试过程中,安装座上的相机与被测发光件的发光面进行拍摄以收集发光件的截面大小信息,然后将截面大小信息传输给光学测试件以进行分析,实现采集组件对被测发光件的截面大小信息进行收集并测试的过程。
优选的,所述驱动机构包括设于所述机座上的固定板、滑移连接于所述固定板上的移动座、设于所述固定板一侧的丝杆以及驱动所述丝杆转动的驱动电机,所述固定板与所述安装座固定,所述丝杆的螺母座与所述移动座相连接。
通过采用上述技术方案,驱动电机能驱动丝杆转动,丝杆的螺母座带动移动座在固定板上滑移,带动固定于移动座上的安装座移动,从而实现调节采集组件的位置,以使采集组件靠近或远离载片台;丝杆的传动效率及精度较高,从而使采集组件移动的方式较为精准和稳定。
优选的,所述固定板上设有滑轨,所述移动座上设有在所述滑轨上滑移的滑块。
通过采用上述技术方案,滑块与滑轨滑移配合,增加了移动座沿固定板移动的稳定性。
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