[实用新型]一种修正光斑质量的扩束镜

说明书

本实用新型涉及一种修正光斑质量的扩束镜，包括：扩束镜筒、凸透镜组、凹透镜组、修正镜筒和柱面镜；扩束镜筒的一端固定连接有凸透镜组，扩束镜筒的另一端固定连接有凹透镜组；修正镜筒的一端固定连接有柱面镜，修正镜筒的另一端敞口且可拆卸连接在扩束镜筒固定有凹透镜组的一端；通过本实用新型，得到较高的激光质量，通过先改变光斑质量然后再调节发散角和扩大光束直径的方式，实现了对光斑的修正，能够调整发散角度，实现了光束发散角的调整的连续性，从而获得光斑质量较好、准直性良好的激光束，同时本实用新型的扩束镜结构简单，加工成本低，转配灵活，维护方便。

技术领域

本实用新型涉及扩束镜领域，尤其涉及一种修正光斑质量的扩束镜。

背景技术

激光的应用领域非常广泛，例如：激光医疗、激光灼刻、激光焊接、激光切割、激光检测与计量、激光雷达、激光武器等；一般情况下，所需要的激光光束要较优的模式，而从激光器输出的光束通常直径小，具有发散角，空间模式较差，需要在实际使用中根据使用要求对其进行调节，尤其是使用紫外激光进行加工时，光斑质量要求较高。

扩束是调节光束质量最常用的组件，市场上常用的扩束镜只能够改变激光光束直径和发散角，不能改变光斑模式；目前市场上扩束镜装置有很多种，基本都是解决发散角、改变扩束倍数的问题，一般只有两组镜片，通过机械结构调节镜片距离达到发散角或倍数的改变；现有扩束装置存在的问题是：不能有效的改善光束质量(即M²值)；当M²＞1.2时，经过扩束后光斑的呈椭圆形或者枣核形状，在激光加工时经聚焦后的光斑对工作物质的加工效果不理想；缺少一种扩束先改变光斑质量后再调节发散角和扩大光束直径的扩束镜。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种修正光斑质量的扩束镜，以解决上述技术问题的至少一种。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下，一种修正光斑质量的扩束镜，包括：扩束镜筒、凸透镜组、凹透镜组、修正镜筒和柱面镜；扩束镜筒的一端固定连接有凸透镜组，扩束镜筒的另一端固定连接有凹透镜组；修正镜筒的一端固定连接有柱面镜，修正镜筒的另一端敞口且可拆卸连接在扩束镜筒固定有凹透镜组的一端。

本实用新型的有益效果是：采用先改变光斑质量后再调节发散角和扩大光束直径的扩束镜的原理，实现了先对激光进行质量修正；通过设置修正镜筒，实现了经过修正镜筒的激光光束呈椭圆形的光斑的长轴部分被柱面镜有效的压缩而短轴部分不便，从修正镜筒另一侧出射的光束改变了空间模式，被修正的光束再依次通过凹透镜组和凸透镜组进行扩束，扩束后的光斑直径变大、发散角减小，得到光学加工所需要的准直性良好的激光束；通过在修正镜筒的一端设置扩束镜筒，实现了将光斑质量修正后的激光束先后通过凹透镜组和凸透镜组实现了光束直径的改变以及光束发散角的改变；通过本实用新型，实现了对光斑的修正，能够调整发散角度，实现了光束发散角的调整的连续性，本实用新型的扩束镜结构简单，加工成本低，转配灵活，维护方便；将修正镜筒以及柱面镜组成的组件拆卸下来可实现常规扩束功能，通用性更好。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。

进一步，扩束镜筒包括主镜筒和滑动镜筒；滑动镜筒的一端固定连接有凸透镜组，滑动镜筒的另一端敞口且套设在主镜筒的一端，主镜筒和滑动镜筒之间滑动连接，主镜筒的另一端固定连接有凹透镜组；修正镜筒的敞口端套设在主镜筒固定有凹透镜组的一端且与之可拆卸连接。

采用上述进一步方案的有益效果：通过将扩束镜筒设置为滑动连接的主镜筒和滑动镜筒，当滑动镜筒相对于主镜筒直线移动的过程中，实现了凹透镜组和凸透镜组之间间距的可连续调整，从而实现了光束发散角的连续可调整；通过将修正镜筒设置在主镜筒固定有凹透镜组的一端，先对光斑质量进行修正，从而增强了激光扩束过程中的稳定性，提高了光束的准直性。

进一步，柱面镜包括至少一个弯月柱面镜。