[实用新型]一种晶圆片安装夹紧机构

权利要求书

1.一种晶圆片安装夹紧机构，其特征在于，包括：用于承载晶圆片的下压环（1）；

与所述下压环（1）相匹配的、用于抵压晶圆片边缘的上压环（2）；开设有截面呈T形的安装通口的载片台（3），所述安装通口与所述下压环（1）相互嵌合；以及，设于所述载片台（3）上用于抵压所述上压环（2）、以固定所述晶圆片的抵压组件。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆片安装夹紧机构，其特征在于，所述抵压组件包括：安装在所述载片台（3）上、延伸方向与所述载片台（3）承载面相垂直的旋转轴（4）；与所述旋转轴（4）端部相装配的、用于抵压所述上压环（2）的压块（41）；螺纹连接在所述旋转轴（4）远离所述压块（41）一端的限位螺母（42）；以及，设于所述载片台（3）上用于限定压块（41）的限位件。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆片安装夹紧机构，其特征在于，所述限位件包括：竖直安装在所述载片台（3）上呈中空状的顶柱（5）；安装在所述顶柱（5）内部的弹簧（51）；以及，设置在所述顶柱（5）顶部可与所述弹簧（51）相连接的弹性球（52），所述压块（41）靠近顶柱（5）的端面开设有与所述弹性球（52）相匹配的凹槽。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆片安装夹紧机构，其特征在于，所述下压环（1）上设有多个与晶圆片边缘相接触的定位销（11），所述上压环（2）上开设有与所述定位销（11）相匹配的定位销孔（21）。

5.根据权利要求2所述的一种晶圆片安装夹紧机构，其特征在于，所述载片台（3）承载面的相应位置上固定有用于限制所述压块（41）旋转的限位销（6）。

6.根据权利要求3所述的一种晶圆片安装夹紧机构，其特征在于，所述压块（41）靠近所述顶柱（5）的端面边缘设有与所述弹性球（52）相接触的倾斜面（7）。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆片安装夹紧机构，其特征在于，所述载片台（3）承载面开设有用于取放下压环（1）的若干通口（8）。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆片安装夹紧机构，其特征在于，所述载片台（3）上开设有多个安装孔（9）。