[实用新型]一种用于步进器曝光系统的自动对焦部

权利要求书

1.一种用于步进器曝光系统的自动对焦部，其特征在于，包括晶片装载台(1)、第一马达(2)、第二马达(3)、装载台中继基板(4)、自动对焦中继基板(5)、系统测试单元(6)和LED水银灯(7)，所述晶片装载台(1)顶部固定连接有与晶片装载台(1)相适配的对焦面(8)，所述晶片装载台(1)底部通过所述装载台中继基板(4)双向连接有所述系统测试单元(6)，所述系统测试单元(6)一侧双向连接有所述自动对焦中继基板(5)，所述自动对焦中继基板(5)顶部通过自动对焦传感器(9)连接有受光器(10)，所述受光器(10)底端两侧分别连接有所述第二马达(3)和校正器(11)，所述LED水银灯(7)底部发射出的光线贯穿送光器(12)并延伸至送光侧(13)上，所述送光侧(13)上的光线通过折返像镜(14)发射到对物镜头(15)内，所述对物镜头(15)上的光线穿射至所述对焦面(8)上，所述对焦面(8)发射出的光线穿过受光侧(16)连接有所述折返像镜(14)，所述折返像镜(14)上方设有与所述受光器(10)相连接的振动子(17)，所述振动子(17)和所述LED水银灯(7)之间设有位于所述晶片装载台(1)上方的缩小投影镜头(18)。

2.根据权利要求1所述的一种用于步进器曝光系统的自动对焦部，其特征在于，所述第一马达(2)一侧通过伸缩杆(19)连接有所述晶片装载台(1)。

3.根据权利要求1所述的一种用于步进器曝光系统的自动对焦部，其特征在于，所述受光器(10)和所述送光器(12)中心处均设有贯穿其厚度的开口槽(20)。

4.根据权利要求1所述的一种用于步进器曝光系统的自动对焦部，其特征在于，所述缩小投影镜头(18)外部靠近所述晶片装载台(1)上连接有罩体(21)。

5.根据权利要求1所述的一种用于步进器曝光系统的自动对焦部，其特征在于，所述对焦面(8)和所述晶片装载台(1)顶部的平面度保持一致。

6.根据权利要求1所述的一种用于步进器曝光系统的自动对焦部，其特征在于，所述自动对焦传感器(9)型号为45点双十字自动对焦感应器。