[实用新型]一种基于步进器的照明系统

说明书

本实用新型涉及一种基于步进器的照明系统，包括高压水银灯、露光主快门、干涉滤光器、第一中继透镜、聚光透镜和标线片遮帘，高压水银灯底部发出的光线通过椭圆镜连接有第一反射镜，第一反射镜一端连接有露光主快门，露光主快门一侧远离椭圆镜一端通过干涉滤光器连接有输入透镜，输入透镜上的光线通过第二反射镜连接有第一中继透镜，第一中继透镜发出的光线穿过标线片遮帘连接有聚光透镜，聚光透镜和第三反射镜之间设置有复眼，第三反射镜上的光线一端穿过主透镜的上玉连接有第四反射镜，第四反射镜下方设置有工作台，工作台顶部中心处连接有环形槽以及布置于环形槽上的硅片。有益效果：光线照度的均匀性和露光精度得到有效的保证。

技术领域

本实用新型涉及照明系统技术领域，具体涉及一种半导体的步进器照明系统。

背景技术

步进器是通过切换步进触点的方式将输入脉冲数转换成步进信号的器件。一般用电磁线圈通电驱动步进触点和电磁线圈断电驱动步进触点两种。多用于输入脉冲的计数、插孔操纵台转换回路、时序控制回路和多点巡回检测切换回路。

步进器内的照明系统是步进器的重要组成部分，它会将通过各种镜片的光线照射到工作台上硅片上，从而进行曝光处理，对照度均一性、照度以及积算露光等精度进行提升，现有的照明系统照明精度和稳定性不佳，降低了系统的实用性。

实用新型内容

本实用新型目的是提供一种基于步进器的照明系统，提供一种照度均匀性好和精度高的照明系统。

为了实现以上目的，本实用新型采用的技术方案为：一种基于步进器的照明系统，包括高压水银灯、露光主快门、干涉滤光器、第一中继透镜、聚光透镜和标线片遮帘，所述高压水银灯底部发出的光线通过椭圆镜连接有第一反射镜，所述第一反射镜一端连接有所述露光主快门，所述露光主快门一侧远离所述椭圆镜一端通过干涉滤光器连接有输入透镜，所述输入透镜上的光线通过第二反射镜连接有所述第一中继透镜，所述第一中继透镜发出的光线穿过所述标线片遮帘连接有所述聚光透镜，所述聚光透镜和第三反射镜之间设置有复眼，所述第三反射镜上的光线一端穿过主透镜的上玉连接有第四反射镜，所述第四反射镜下方设置有工作台，所述工作台顶部中心处连接有环形槽以及布置于所述环形槽上等距排列的硅片，所述硅片顶部连接有圆柱，所述圆柱内的光线与所述第四反射镜相连接。

进一步的，所述第一中继透镜和所述标线片遮帘之间设有第二中继透镜。

进一步的，所述标线片遮帘上连接有环形阵列的更换镜片。

进一步的，所述圆柱上靠近所述硅片上分别连接有卤素灯和汞灯。

进一步的，所述第三反射镜和主透镜的上玉之间设有间隙。

本实用新型的技术效果在于：高压水银灯首先将发出的光通过第一反射镜传送到露光主快门上，然后通过干涉滤光器发射到输入透镜上，椭圆镜会先将光线积聚在一个点上，露光主快门和干涉滤光器分别能够计算露光精度和得到波长为365nm的i线光，第二反射镜和第三反射镜之间聚光透镜连接的标线片遮帘，可以让光线照度的均匀性和光照的精度得到有效的保证，进而通过输入透镜从第四反射镜上发射到工作台上的硅片，这样的步进器照明系统大大提高了使用性能，露光精度得到及时的校正，照明性的照度有效的调节。

附图说明

图1为本实用新型步进器照明系统的示意图。

附图标记：1-高压水银灯；2-露光主快门；3-干涉滤光器；4-第一中继透镜；5-聚光透镜；6-标线片遮帘；7-椭圆镜；8-第一反射镜；9-输入透镜；10-第二反射镜；11-第三反射镜；12-复眼；13-第四反射镜；14-工作台；15-环形槽；16-硅片；17-圆柱；18-第二中继透镜；19-更换镜片；20-卤素灯；21-汞灯。

具体实施方式