[实用新型]一种用于制造硅基异质结电池的工装

说明书

本申请公开了一种用于制造硅基异质结电池的工装，用于夹持硅片，包括上下设置的上盖和托盘，所述托盘上设置有用于固定硅片的安装槽；所述上盖与托盘之间设置有限位机构，所述限位机构设置在所述安装槽的边沿，用于水平限位硅片。本申请涉及硅基异质结电池的制造设备，提供了一种用于制造硅基异质结电池的工装，能够避免由于硅片在工装中移动而造成的镀膜失败问题，保证了稳定镀膜和硅片的边缘处绝缘，无需其他化学清洗。

技术领域

本申请涉及硅基异质结电池的制造设备，尤指用于制造硅基异质结电池的工装。

背景技术

硅基太阳能光伏产品发展到如今，广大厂商遇到了效率和成本的瓶颈，如果要继续提高，必须在材料和技术上进行革命性的变革。由此，硅基异质结电池应运而生，该硅基异质结电池的生产工艺与传统晶硅光伏电池不同，特别是对于硅基异质结电池工业化生产来讲，透明导电薄膜的绝缘是个很重要的问题。

通常需要在硅片上进行镀膜工序，将透明导电薄膜设置在电池上，而生产设备上则需要工装对硅片进行夹持，同时物理性遮挡硅片的边缘，从而保证顺利进行透明导电薄膜工艺且保证其边缘绝缘。但是，工装的移动或震动会导致硅片在其中出现跑偏，从而引起镀膜失败问题。

实用新型内容

本申请解决的技术问题是提供一种用于制造硅基异质结电池的工装，能够避免由于硅片在工装中移动而造成的镀膜失败问题，保证了稳定镀膜和硅片的边缘处绝缘，无需其他化学清洗。

为解决上述技术问题，本申请提供了一种用于制造硅基异质结电池的工装，用于夹持硅片，包括上下设置的上盖和托盘，所述托盘上设置有用于固定硅片的安装槽；所述上盖与托盘之间设置有限位机构，所述限位机构设置在所述安装槽的边沿，用于水平限位硅片。

一种可能的设计，所述限位机构包括设置所述安装槽边沿的限位销钉，多个所述限位销钉与硅片的周向边缘相抵。

一种可能的设计，所述硅片包括镀膜区和其外周的遮盖区，所述上盖设置有用以显露出所述镀膜区的通孔，所述上盖覆盖所述遮盖区的上端面。

一种可能的设计，所述限位销钉的下端与托盘固定，所述上盖的下端对应所述限位销钉设置有销孔，所述限位销钉的上端插入所述销孔。

一种可能的设计，所述上盖在所述通孔的外周设置有便于镀膜的第一斜面，所述销孔为盲孔，用以避免所述定位销钉突出所述第一斜面而干涉镀膜。

一种可能的设计，所述限位机构包括突出所述托盘上表面的限位块，多个所述限位块沿所述安装槽周向均匀布置。

一种可能的设计，所述上盖与托盘之间设置有用于相对固定所述上盖与托盘的定位凸起。

一种可能的设计，所述托盘在相邻所述安装槽之间设置有定位凸起，所述上盖对应所述定位凸起设置有供其插入的定位孔。

一种可能的设计，所述安装槽和上盖下端面的表面粗糙度为0.01-0.16μm。

一种可能的设计，所述托盘的下端面设置有用于与传输设备连接的槽体；所述上盖的上端设置有辨识孔。

与现有技术相比，本实用新型的工装通过安装槽和限位机构共同将硅片固定在其中，保证硅片在工装移动和震动中无偏移，确保稳定进行镀膜工艺，也避免了硅片的边缘进行化学清洗。

进一步地，本实用新型的限位机构为多个限位销钉，其结构简单，也方便工装和硅片的安装。

进一步地，本实用新型的上盖设置有第一斜面和用于固定限位销钉的盲孔，且限位销钉的顶部也设置有配合第一斜面的第二斜面，避免了限位销钉突出对镀膜产生干涉，使硅片绝缘效果更加稳定。

进一步地，本实用新型的安装槽和上盖下端面进行抛光处理，保证其光滑，得以降低工装与硅片摩擦造成的硅片损耗。