[实用新型]晶硅太阳能电池清洗设备有效
申请号: | 201821149974.6 | 申请日: | 2018-07-19 |
公开(公告)号: | CN208570549U | 公开(公告)日: | 2019-03-01 |
发明(设计)人: | 狄云飞;季九江;张凯胜;姚伟忠;孙铁囤 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人: | 郑云 |
地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 冲洗机构 输送滚轮 清洗设备 清洗组件 硅太阳能电池 本实用新型 烘干机构 酸洗机构 压水滚轮 出气孔 碱洗 气刀 种晶 晶硅太阳能电池 太阳能电池成品 太阳能电池片 倾斜设置 清洁组件 依次设置 工艺槽 进气孔 输入端 串液 吹扫 清洗 | ||
本实用新型提供一种晶硅太阳能电池清洗设备,包括输送滚轮、第一冲洗机构、碱洗机构、第二冲洗机构、酸洗机构、第三冲洗机构和烘干机构,还包括多个清洗组件,多个清洗组件设于第一冲洗机构、碱洗机构、第二冲洗机构、酸洗机构、第三冲洗机构和烘干机构中任意相邻两机构之间,清洗组件包括压水滚轮和气刀,压水滚轮和气刀设于输送滚轮上方沿输送滚轮输送方向依次设置,气刀上侧设有进气孔,气刀下侧设有多个用于吹扫太阳能电池片的出气孔,出气孔朝向输送滚轮输入端方向倾斜设置。本实用新型提供的一种晶硅太阳能电池清洗设备,采用清洁组件减少后清洗内各工艺槽的串液情况,能够增加工艺的稳定性,减少太阳能电池成品效率的波动。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域,特别是涉及一种晶硅太阳能电池清洗设备。
背景技术
链式后清洗的工艺过程为:刻蚀→冲洗1→碱洗→冲洗2→酸洗→冲洗3→烘干,除了刻蚀→冲洗1的这个过程不需要用手段隔离外,其他每个过程都需要将晶硅太阳能电池上的药液尽可能的去除干净后,进入到下一个槽体。目前现有的主要的去除手段之一,就是用压水滚轮通过碾压的方式把晶硅太阳能电池片上的药液扫干净。
然而,光用压水滚轮扫除晶硅太阳能电池上的药液很容易有药液的残留,这样会导致设备内由太阳能电池片传递导致的轻微串液。
而且,压水滚轮扫除太阳能电池片表面不干净的情况还会在冲洗3→烘干的这个过程,在太阳能电池片上残留过多的水,容易导致烘干后太阳能电池片水汽残留过多,后续的生产会导致太阳能电池片表面小白点情况的增多。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是:为了克服现有技术中的不足,本实用新型提供一种晶硅太阳能电池清洗设备。
本实用新型解决其技术问题所要采用的技术方案是:一种晶硅太阳能电池清洗设备,包括输送滚轮以及依次设于所述输送滚轮上方的第一冲洗机构、碱洗机构、第二冲洗机构、酸洗机构、第三冲洗机构和烘干机构,还包括多个清洗组件,多个所述清洗组件设于所述第一冲洗机构、碱洗机构、第二冲洗机构、酸洗机构、第三冲洗机构和烘干机构中任意相邻两机构之间,所述清洗组件包括压水滚轮和气刀,所述压水滚轮和气刀设于所述输送滚轮上方沿所述输送滚轮输送方向依次设置,所述压水滚轮与所述输送滚轮之间的间隙略小于太阳能电池片的厚度,所述气刀上侧设有进气孔,所述气刀下侧设有多个用于吹扫所述太阳能电池片的出气孔,所述出气孔朝向所述输送滚轮输入端方向倾斜设置。
输送滚轮用于输送太阳能电池片,采用输送滚轮输送太阳能电池片可以使加工太阳能电池片的药液以及清洗太阳能电池片的废水从两输送滚轮之间的间隙流出,防止药液或废水堆积在太阳能电池片上,清洗组件安装于第一冲洗机构、碱洗机构、第二冲洗机构、酸洗机构和第三冲洗机构这些机构的末尾处,压水滚轮与输送滚轮之间的间隙略小于太阳能电池片的厚度的用处在于压水滚轮可以碾压过晶硅太阳能电池片上将药液或水扫干净的同时不会压坏太阳能电池片,气刀是安装在压水滚轮后方,斜吹向太阳能电池片表面,能在被压水滚轮扫后最大程度的吹走太阳能电池片表面剩余的药液或废水,气刀使用的是“空气”与太阳能电池片之间的“软”接触来扫去太阳能电池片上的积水,这样能避免掉压水滚轮用久后有磨损后带来的划痕隐患。
压水滚轮与气刀的这种双重保障能有效的减少各槽之间的串液情况,这可以为晶硅太阳能电池后续的高效工艺带来很好的基础保障。
另外由于高效太阳能电池工艺中,在后清洗如果太阳能电池片表面还有水汽残留的话,会导致小白点的情况,第三冲洗机构后使用压水滚轮与气刀的组合方式,能有效减少进入烘干机构前太阳能电池片上沾着的水,进而增强后清洗的烘干效果,能有效减少成品小白点1-2%,这就相当于减少1-2%的返工数量,节约了返工成本。
进一步,为了使气刀最大程度的吹走太阳能电池片表面剩余的药液或水,所述出气孔轴线与所述太阳能电池片之间的角度为30°~60°。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州亿晶光电科技有限公司,未经常州亿晶光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821149974.6/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造