[实用新型]等离子体反应腔室用带磁铁环的直冷阴极衬套

权利要求书

1.等离子体反应腔室用带磁铁环的直冷阴极衬套，包括衬套主体（1）；其特征在于：所述衬套主体（1）包括圆柱型衬套基体（11）；所述衬套基体（11）外壁的左端头设置有法兰凸台（12）；所述法兰凸台（12）的右侧、在衬套基体（11）的外壁上设置有卡紧凸台（13）；所述卡紧凸台（13）的右端、在衬套基体（11）的外壁上匹配设置有盖板（2）；所述盖板（2）与卡紧凸台（13）之间构成封闭的安装空腔（3）；所述安装空腔（3）内匹配设置有环形的永久磁铁圈（4）；所述衬套基体（11）在卡紧凸台（13）左侧处端面的外径尺寸大于衬套基体（11）在卡紧凸台（13）右侧处端面的外径尺寸；所述卡紧凸台（13）包括从上往下依次设置的第一阶梯轴面（131）和第二阶梯轴面（132）；所述盖板（2）通过焊接的方式固定在衬套主体（1）的右端头；所述盖板（2）包括从内往外依次设置的盖体基筒体（21）和盖体密封筒体（22）；所述盖体基筒体（21）的内孔壁面与衬套基体（11）右端头的外圆壁面之间过盈配合；所述盖体密封筒体（22）的左端头与第一阶梯轴面（131）相匹配；所述永久磁铁圈（4）包括“T”型截面的圆形固定金属圈（41）；所述固定金属圈（41）的内孔壁面与第二阶梯轴面（132）的外壁面之间过盈配合；所述固定金属圈（41）的两侧对称设置有长方形钕铁硼永久磁铁块（42）；所述固定金属圈（41）的单侧均匀设置有36个钕铁硼永久磁铁块（42）。

2.根据权利要求1所述的等离子体反应腔室用带磁铁环的直冷阴极衬套，其特征在于：所述衬套主体（1）采用6061铝合金材料制成。

3.根据权利要求1所述的等离子体反应腔室用带磁铁环的直冷阴极衬套，其特征在于：所述盖板（2）采用6061铝合金材料制成。