[实用新型]光学调节系统及曝光机

说明书

本实用新型涉及一种光学调节系统及曝光机，光学调节系统包括曝光罩；镜头；焦距调节机构；及角度调节机构，角度调节机构包括第一安装架、可转动的调节板和固定件，曝光罩固设于调节板，调节板设有套孔，镜头的一端穿过套孔、并伸入曝光罩内，固定件用于将角度调节后的调节板固设于第一安装架。通过焦距调节机构和角度调节机构的设置，调节板绕镜头转动以进行角度调节，调节板转动的同时带动曝光罩转动、从而实现曝光组件与镜头之间的角度调节，角度调节后利用固定件将调节板固定在第一安装架上，固定角度调节结果，从而焦距调节机构进行焦距调节时不会对角度调节的结果造成影响，提高了调节精度，进而提高了曝光成像质量。

技术领域

本实用新型涉及曝光机技术领域，特别是涉及一种光学调节系统及曝光机。

背景技术

在曝光机的整个系统中，光路调节是非常重要的一个环节，其调整精度直接影响图形的曝光质量，曝光机的成像系统包括激光光源系统、无掩膜曝光系统(DMD曝光系统，即Digital Micromirror Device)和投影物镜。

在光路调节过程中，通常需要调整DMD曝光系统、使其与投影物镜的像面实现共焦，同时调整DMD曝光系统的角度、使投影的图像与曝光运动方向的角度达到设计要求，从而使曝光质量得到提升。然而，曝光机的光学调节系统在调节时，角度调节会对焦距调节的精度造成影响，而焦距调节又会影响角度调节的精度，导致调节精度差，影响曝光成像质量。

发明内容

基于此，有必要提供一种光学调节系统及曝光机。该光学调节系统能够避免角度调节和焦距调节之间的相互影响，提高调节精度；曝光机采用该光学调节系统，提高了曝光成像质量。

其技术方案如下：

一方面，提供了一种光学调节系统，包括曝光罩，曝光罩用于安装曝光组件；镜头，镜头与曝光组件对应设置；焦距调节机构，焦距调节机构设于曝光罩和镜头之间、并用于调节曝光组件和镜头之间的间距；及角度调节机构，角度调节机构包括第一安装架、可转动的调节板和固定件，第一安装架固定设置，曝光罩固设于调节板，调节板设有套孔，镜头的一端穿过套孔、并伸入曝光罩内，调节板绕镜头转动、并带动曝光罩转动进行角度调节，固定件用于将角度调节后的调节板固设于第一安装架。

上述光学调节系统，通过焦距调节机构和角度调节机构的设置，调节时，调节板绕镜头转动以进行角度调节，调节板转动的同时带动曝光罩转动、从而实现曝光组件与镜头之间的角度调节，角度调节后利用固定件将调节板固定在第一安装架上，固定角度调节结果，从而焦距调节机构进行焦距调节时不会对角度调节的结果造成影响，提高了调节精度，进而提高了曝光成像质量。

下面进一步对技术方案进行说明：

在其中一个实施例中，调节板包括旋转板和把手，把手与旋转板连接，套孔设于旋转板，角度调节机构还包括调节螺杆，调节螺杆的一端抵压把手，调节螺杆转动、并抵压把手、使旋转板绕镜头转动。

在其中一个实施例中，第一安装架设有避让通槽，套孔与避让通槽对应设置，旋转板还设有固定板边，固定件与固定板边配合、并将旋转板固设于第一安装架。

在其中一个实施例中，第一安装架还设有调节通槽和安装通槽，调节通槽延伸至安装通槽内、并用于使调节螺杆的一端穿过，把手的一端设于安装通槽内，安装通槽延伸至避让通槽内、并用于使把手另一端的旋转板设于避让通槽内。

在其中一个实施例中，角度调节机构还包括复位件，复位件设于安装通槽的槽壁和把手之间，复位件和调节螺杆分别设于把手的相对两侧。

在其中一个实施例中，镜头固定设置，旋转板呈可弯折设置或旋转板呈可变形设置，焦距调节机构用于调节曝光罩的位置、使曝光组件与镜头之间的间距改变。