[实用新型]晶圆光刻胶及金属剥离工艺中的防雾气外溢装置

权利要求书

1.一种晶圆光刻胶及金属剥离工艺中的防雾气外溢装置，其特征在于，包括固定防溅环(1)、内防溅环(3)、一级过滤装置、升降防溅环(15)、升降防溅环驱动机构及排风管路(7)，其中固定防溅环(1)、内防溅环(3)及升降防溅环(15)由外到内依次嵌套设置、且内防溅环(3)与固定防溅环(1)之间留有环隙，所述一级过滤装置设置于所述内防溅环(3)的下端，所述升降防溅环驱动机构与所述升降防溅环(15)连接，用于驱动所述升降防溅环(15)升降，所述排风管路(7)与所述固定防溅环(1)连接、且与所述内防溅环(3)与固定防溅环(1)之间的环隙连通。

2.根据权利要求1所述的晶圆光刻胶及金属剥离工艺中的防雾气外溢装置，其特征在于，所述固定防溅环(1)包括固定防溅环壁(101)、固定防溅环底板(102)及排风盒(104)，其中固定防溅环底板设置于固定防溅环壁(101)的下端、且与工艺腔体(24)的单元底板(19)密封连接，所述固定防溅环壁(101)上沿周向设有多个排风口(106)，各排风口(106)处均设有二级过滤网(6)，所述排风盒(104)设置于所述固定防溅环壁(101)的外侧，所述排风口(106)位于排风盒(104)内，所述排风管路(7)与所述排风盒(104)连通。

3.根据权利要求2所述的晶圆光刻胶及金属剥离工艺中的防雾气外溢装置，其特征在于，所述固定防溅环壁(101)的外侧对称设有两个所述排风盒(104)，两个所述排风盒(104)通过排风管(105)分别与两只排风管路(7)连接。

4.根据权利要求3所述的晶圆光刻胶及金属剥离工艺中的防雾气外溢装置，其特征在于，所述排风管路(7)与所述排风管(105)之间的连接处设有排风过滤网(8)，所述排风管路(7)由下至上从工艺腔体(24)内引出。

5.根据权利要求2所述的晶圆光刻胶及金属剥离工艺中的防雾气外溢装置，其特征在于，所述固定防溅环壁(101)内设有与所述固定防溅环底板(102)连接的电机扣盖(103)。

6.根据权利要求1所述的晶圆光刻胶及金属剥离工艺中的防雾气外溢装置，其特征在于，所述内防溅环(3)的上端通过法兰与所述固定防溅环(1)连接。

7.根据权利要求1所述的晶圆光刻胶及金属剥离工艺中的防雾气外溢装置，其特征在于，所述一级过滤装置为一级过滤网(2)，所述一级过滤网(2)采用金属过滤网制成。

8.根据权利要求1所述的晶圆光刻胶及金属剥离工艺中的防雾气外溢装置，其特征在于，所述升降防溅环(15)的顶部设有盖板(14)，所述盖板(14)的中心设有工艺孔。

9.根据权利要求8所述的晶圆光刻胶及金属剥离工艺中的防雾气外溢装置，其特征在于，所述升降防溅环(15)的上端边沿与所述内防溅环(3)的顶部之间设有密封环(4)和设置于所述密封环(4)上方的压片(5)。

10.根据权利要求1所述的晶圆光刻胶及金属剥离工艺中的防雾气外溢装置，其特征在于，所述升降防溅环驱动机构包括两个升降气缸(11)，两个升降气缸(11)分别设置于所述升降防溅环(15)的两侧、且输出端通过连接件均与所述升降防溅环(15)连接。