[实用新型]红外滤波片缺陷检测装置有效
申请号: | 201821143632.3 | 申请日: | 2018-07-19 |
公开(公告)号: | CN208736806U | 公开(公告)日: | 2019-04-12 |
发明(设计)人: | 梅蓉;诸庆 | 申请(专利权)人: | 宁波舜宇仪器有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88 |
代理公司: | 北京谨诚君睿知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11538 | 代理人: | 陆鑫;延慧 |
地址: | 315400 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 红外滤波片 缺陷检测装置 光源单元 遮光板 本实用新型 高反射率 检测结果 镜头单元 缺陷检测 同轴设置 相机单元 通光孔 通光 同轴 保证 | ||
本实用新型涉及一种红外滤波片缺陷检测装置,包括依次同轴设置的相机单元(1)、镜头单元(2)和光源单元(3),其特征在于,还包括:遮光板(4),所述遮光板(4)上设有通光孔(41);所述遮光板(4)设置在所述光源单元的下方,所述通光(41)与所述光源单元(3)同轴地设置。本实用新型的红外滤波片缺陷检测装置,能够对表面具有高反射率的红外滤波片进行缺陷检测,并且能够有效保证对红外滤波片检测结果的准确性。
技术领域
本实用新型涉及滤波片缺陷检测技术领域,尤其涉及一种红外滤波片缺陷检测装置。
背景技术
窄带滤波片属于带通滤波片,是一种可以让某些波长的光通过而让其他波段的光反射或者衰减的光学组件。窄波滤波片的工作区域可以是紫外光波段、可见光波段、近红外光波段和远红外光波段。
现有市场上的滤波片检测大多采用人工检测或机台设备检测。人工检测是人工在体视显微镜下检测,这种检测方法只可以检测滤波片的表面缺陷,同时人工检测效率极低,主观性强,检测结果存在较大误差,准确性较低。
现有的机台设备检测虽然实现了对滤波片的自动化检测,但其往往只能针对普通可见光波段的滤波片进行缺陷检测。而红外滤波片由于其只能让红外光线透过,其余波段的光线均被反射掉,其表面反射率达到了90%以上,如采用现有机台设备对红外滤波片进行缺陷检测,红外滤波片表面将会反射大量的光线进入检测视野,从而影响检测结果的准确性。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种红外滤波片缺陷检测装置,提高对红外滤波片缺陷检测的准确性。
为实现上述目的,本实用新型提供一种红外滤波片缺陷检测装置,包括依次同轴设置的相机单元、镜头单元和光源单元,还包括:
遮光板,所述遮光片上设有通光孔;
所述遮光板设置在所述光源单元的下方,所述通光孔与所述光源单元同轴地设置。
根据本实用新型的一个方面,所述遮光板与所述光源单元、所述红外滤波片满足关系:a≥b或a≥c;
其中a表示所述遮光板的外形尺寸,b表示所述光源单元的外径,c所述红外滤波片的外形尺寸。
根据本实用新型的一个方面,所述红外滤波片与所述光源单元满足关系:c≤b,所述遮光板与所述红外滤波片满足关系:a≥c。
根据本实用新型的一个方面,所述红外滤波片与所述光源单元满足关系:c≥b,所述遮光板与所述光源单元满足关系:a≥b。
根据本实用新型的一个方面,所述通光孔的大小满足关系式:
其中u表示所述通光孔的长度,v表示所述通光孔的宽度,l表示所述遮光板的工作距离,h表示所述光源单元的工作距离,R表示所述光源单元的内半径,FOV表示所述镜头单元的线视场,a和b分别表示所述相机单元靶面的长度和宽度。
根据本实用新型的一个方面,所述光源单元为高角度的环形光源。
根据本实用新型的一个方面,所述高角度范围为水平方向大于45°。
根据本实用新型的一个方面,所述光源单元为散射性蓝色光。
根据本实用新型的一个方面,所述镜头单元为物方远心镜头。
根据本实用新型的一个方案,由于在光源单元的下方设置了遮光板,可以很好地将干扰光线进行遮挡,避免不在视野范围的光线经过待检测红外滤波片表面的反射进入检测视野范围内,从而有利于保证对待检测红外滤波片的图像采集更为清晰,进而保证最终对红外滤波片缺陷检测结果的准确性。
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