[实用新型]一种晶棒调整机构

说明书

本实用新型涉及晶体加工技术领域，具体地说是一种晶棒调整机构，包括驱动辊组件和从动辊组件，所述驱动辊组件包括驱动辊、驱动辊座、第一移动机构和旋转机构，所述驱动辊座通过所述第一移动机构驱动沿左右方向水平移动，驱动辊和旋转机构设置于所述驱动辊座上，且所述驱动辊通过所述旋转机构驱动旋转，从动辊组件包括从动辊、从动辊座和第二移动机构，从动辊座通过所述第二移动机构驱动沿左右方向水平移动，且从动辊安装于所述从动辊座上，机构工作时晶棒通过所述驱动辊和从动辊夹持支撑，并通过所述驱动辊驱动旋转，在所述驱动辊组件和从动辊组件上侧设有沿前后方向移动的编码器组件。本实用新型能够精确调整晶棒旋转角度，有效保证后续晶体切片制品质量。

技术领域

本实用新型涉及晶体加工技术领域，具体地说是一种晶棒调整机构。

背景技术

人工生长出来的单晶硅晶棒在加工出各种规格的晶片前，需要先将毛胚晶棒进行定向，找出需要的方向后，利用磨削设备将晶棒柱面加工出参考边或刻痕，然后按测定角度值将晶棒粘接在料板上，并且进行晶棒粘接时，晶棒柱面参考边或刻痕需指向指定角度，而在上述过程中，晶棒调整尤为重要，如果晶棒位置调整不准确，就无法满足方向精度要求，会严重影响后续单晶硅切片精度，导致晶体切片制品的不合格率较高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶棒调整机构，能够精确调整晶棒旋转角度，有效保证后续晶体切片制品质量。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

一种晶棒调整机构，包括驱动辊组件和从动辊组件，所述驱动辊组件包括驱动辊、驱动辊座、第一移动机构和旋转机构，所述驱动辊座通过所述第一移动机构驱动沿左右方向水平移动，驱动辊和旋转机构设置于所述驱动辊座上，且所述驱动辊通过所述旋转机构驱动旋转，从动辊组件包括从动辊、从动辊座和第二移动机构，从动辊座通过所述第二移动机构驱动沿左右方向水平移动，且从动辊安装于所述从动辊座上，机构工作时晶棒通过所述驱动辊和从动辊夹持支撑，并通过所述驱动辊驱动旋转，在所述驱动辊组件和从动辊组件上侧设有沿前后方向移动的编码器组件。

所述第一移动机构和第二移动机构结构相同，均包括移动驱动装置、丝杠和丝母，丝杠通过所述移动驱动装置驱动旋转，丝母安装于丝杠上，驱动辊座与第一移动机构的丝母固连，从动辊座与第二移动机构的丝母固连。

所述旋转机构包括旋转驱动装置和传动组件，所述驱动辊通过所述旋转驱动装置驱动旋转，且所述旋转驱动装置通过传动组件传递转矩。

所述旋转驱动装置为电机，所述传动组件为皮带轮传动组件，其中主动带轮安装于所述电机上，从动带轮安装于所述驱动辊的轴端，所述主动带轮和从动带轮通过皮带相连。

所述编码器组件包括编码器、吸盘、支撑臂和移动座，支撑臂一端与所述移动座转动连接，支撑臂另一端设有编码器和吸盘，且所述吸盘可转动地设置于支撑臂端部并与所述编码器转轴同轴固连，机构工作时，吸盘吸附于晶棒端面中心处。

所述支撑臂与移动座相连的一端设有限位杆，支撑臂水平时，所述限位杆下端与所述移动座相抵。

所述驱动辊组件和从动辊组件设置于一个架体内，在所述架体上部内一侧设有安装架，所述编码器组件设有移动座，且所述移动座与所述安装架滑动连接。

所述驱动辊和从动辊高度相同。

本实用新型的优点与积极效果为：

1、本实用新型能够精确调整晶棒旋转角度，满足晶棒加工生产要求，有效保证晶体切片制品质量。

2、本实用新型整体结构简单紧凑，不会占用过多的安装空间。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图，

图2为图1中的驱动辊组件和从动辊组件示意图，