[实用新型]一种涂胶机

说明书

本申请公开了一种涂胶机，所述涂胶机包括盒装座体、涂胶腔体、盖子、涂胶装置、可开启窗口、抽气装置及尾气过滤装置；其中，所述涂胶腔体设置在所述盒状座体内，所述盒状座体上部被所述盖子密封覆盖，所述盒状座体与所述抽气装置的一端相连，所述抽气装置的另一端与所述尾气过滤装置相连。

技术领域

本申请涉及一种涂胶机，属于晶片涂胶设备领域。

背景技术

光刻胶主要是由树脂、感光剂以及溶剂等不同的材料混合而成的。其中，树脂是粘合剂；感光剂是一种光活性极强的化合物，两者同时溶解在溶剂中，以液态形式保存，以便于使用。

传统的光刻胶涂胶过程一般可分为两个阶段：第一阶段，将稀释好的胶液滴入基底上表面中心位置，启动离心机，先慢速转动，然后再快速转动，使胶液在高速转动的强离心力作用下迅速流动成膜，待胶液中的稀释剂迅速挥发后，一定厚度的胶层即已形成并固化，最后关闭离心机，涂胶结束。

现有的涂胶机在涂胶过程中需要将涂胶机的盖子打开进行取放晶片，且在涂胶过程中没有实现尾气处理，对环境造成了一定的污染。

实用新型内容

根据本申请的一个方面，提供了一种涂胶机，所述涂胶机包括盒装座体、涂胶腔体、盖子、涂胶装置、可开启窗口、抽气装置及尾气过滤装置；

其中，所述涂胶腔体设置在所述盒状座体内，所述盒状座体上部被所述盖子密封覆盖，所述盒状座体与所述抽气装置的一端相连，所述抽气装置的另一端与所述尾气过滤装置相连，所述可开启窗口设置在所述盒装座体内。

优选地，所述盒状座体包括支撑台、升降台和设置在升降台上可吸附待涂胶晶片的转盘。

优选地，所述支撑台上设有与所述升降台配合的凹槽；

所述升降台由设置再所述凹槽底部的驱动装置驱动升降。

优选地，所述涂胶腔体设置在所述升降台上，并可通过升降台联动而进行升降。

优选地，所述盖子能够与盒状座体密封配合，所述盖子上设置有进气孔。

优选地，所述涂胶装置包括储胶瓶、进胶管和设置在进胶管一端的出胶口。

优选地，所述出胶口设置在盒体内且位于转盘中心上方。

优选地，所述抽气装置包括抽气管及微型抽气泵；所述抽气管与腔体相连接。

优选地，所述尾气过滤装置包括碱洗槽、酸洗槽及联通管道；

其中，所述碱洗槽与所述抽气装置连接，所述酸洗槽与所述碱洗槽连接。

优选地，所述可开启窗口设置在所述转盘的上部，用于涂胶的晶片可通过所述可开启窗口取放。

本申请能产生的有益效果包括：

1本申请所提供的涂胶机，可以实现不开启上盖，即可取放基片；

2本申请所提供的涂胶机，设置有尾气处理装置，可以实现涂胶过程中的尾气处理。

附图说明

图1为本申请一种实施方式中的涂胶机的示意图。

部件和附图标记列表：

1-座体 2-盖子 3-涂胶装置

4-可开启窗口 5-抽气装置 6-尾气处理装置

7-驱动装置 11-支撑台 111-凹槽

12-升降台 13-转盘 14-腔体