[实用新型]一种用于湿式设备滚轮组与齿轮组的对接结构

说明书

本实用新型公开了一种用于湿式设备滚轮组与齿轮组的对接结构，包括槽体板、滚轮、齿轮，滚轮设于槽体的内侧并贯穿槽体板，齿轮设于槽体的外侧并与滚轮啮合，槽体板的外壁设有固定防泄漏结构，固定防泄漏结构包括：迫紧环配件、迫紧环套件；迫紧环配件包括：一配件主体，一槽体嵌入段，一配件嵌入段，配件嵌入段为具有锥度的空腔圆柱体且其外表面具有外螺纹；迫紧环套件包括：一套件主体，套件主体为具有空腔的圆柱体，套件主体的内表面设有与配件嵌入段上的外螺纹配合的内螺纹。本实用新型的对接结构对滚轮和齿轮进行了密封保护，在发生液体泄漏时，液体也会沿U形管流入槽体内，易于拆装维修，降低了湿式设备维护成本。

技术领域

本实用新型涉及半导体湿式制程设备领域，具体涉及一种用于湿式设备滚轮组与齿轮组的对接结构。

背景技术

目前湿式设备中，参阅说明书附图中图5所示，将电机与驱动齿轮设置在槽体板100外部，滚轮200设置在槽体内部，采用电机驱动齿轮组，滚轮组与槽体外的齿轮组对接，槽体的壁部采用挡板隔离并锁入槽壁处，安装不方便。由于槽体内含有化学溶液，如果滚轮与齿轮在槽壁对接处存在缝隙，则存在液体外漏的风险；液体外漏后对槽体外壁腐蚀严重，处理麻烦，也增加了设备维护的成本。因此，需要一种防止液体泄漏，易于维修与保养的湿式设备滚轮组与齿轮组的对接结构。

实用新型内容

为了解决上述的技术问题，本实用新型的目的在于提供一种用于湿式设备滚轮组与齿轮组的对接结构，通过在槽体板上设置固定防泄漏结构，对滚轮和齿轮进行了密封保护，在滚轮与槽体板连接处发生槽体内液体泄漏时，通过U形管内的液位变化方便观察，而且在发生液体泄漏时，液体也会沿U形管流入槽体内，该对接结构易于拆装维修，降低了湿式设备维护成本。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

本实用新型提供了一种用于湿式设备滚轮组与齿轮组的对接结构，包括槽体板、滚轮、齿轮，滚轮设于槽体的内侧并贯穿槽体板，齿轮设于槽体的外侧并与滚轮啮合，槽体板的外壁设有固定防泄漏结构，所述固定防泄漏结构包括：迫紧环配件、迫紧环套件；

所述迫紧环配件包括：一配件主体，一槽体嵌入段，一配件嵌入段，配件主体为具有空腔的圆柱体，槽体嵌入段的外表面具有外螺纹，槽体板的外壁设有与外螺纹配合的内螺纹，配件嵌入段为具有锥度的空腔圆柱体且其外表面具有外螺纹；

所述迫紧环套件包括：一套件主体，套件主体为具有空腔的圆柱体，套件主体的内表面设有与配件嵌入段上的外螺纹配合的内螺纹。

进一步的，所述配件嵌入段的外缘设有插槽，所述套件主体靠近配件嵌入段的外缘设有与插槽配合的环形插板。

进一步的，所述配件主体的上端设有U形管，U形管的一端贯穿至配件主体的空腔，延伸至槽体板顶部后，另一端伸入槽体内侧。

进一步的，所述U形管两端部内侧设有过滤网，U形管内设有浮动球，浮动球的外径小于U形管的内径。

进一步的，所述配件主体、套件主体的空腔直径大于滚轮的外径。

本实用新型的有益效果：

1、本实用新型的用于湿式设备滚轮组与齿轮组的对接结构，通过在槽体板上设置固定防泄漏结构，对滚轮和齿轮进行了密封保护，在滚轮与槽体板连接处发生槽体内液体泄漏时，通过U形管内的液位变化方便观察，而且在发生液体泄漏时，液体也会沿U形管流入槽体内，该对接结构易于拆装维修，降低了湿式设备维护成本。

2、固定防泄漏结构中，迫紧环配件和迫紧环套件中的槽体嵌入段外表面的外螺纹与槽体板外壁的内螺纹螺纹配合连接，套件主体外缘的环形插板插入配件嵌入段外缘的插槽，套件主体内表面的内螺纹与配件嵌入段上的外螺纹螺纹连接，螺纹连接和插板连接配合密封性好，使得该防泄漏结构对滚轮伸出槽体板的外部进行密封和防泄漏保护。