[实用新型]一种旋转吊装平面靶

权利要求书

1.一种旋转吊装平面靶，包括平面靶体（14），平面靶体（14）内部设置有磁极板（18），磁极板（18）上设置有永磁体（19），永磁体（19）前侧的平面靶体（14）上设置有溅射靶材（15），其特征在于：所述平面靶体（14）的外侧设置有筒状的固定屏蔽（17），固定屏蔽（17）的一侧设置有开口；所述平面靶体（14）的上端与旋转轴（13）相连，旋转轴（13）通过转动轴承座（12）与真空室顶壁（1）的外侧相连，且旋转轴（13）与回转驱动机构相连；所述旋转轴（13）的中部设置有沿轴线布置的中心通孔，中心通孔内设置有中心进水管（10），中心进水管（10）的上端设置有进水口（6）；中心进水管（10）的外壁与旋转轴（13）中心通孔的内壁之间设置有出水通道（11），出水通道（11）的上端设置有出水口（7）；所述平面靶体（14）的磁极板（18）内部设置有竖直布置的循环冷却通道（16），循环冷却通道（16）的进口与旋转轴（13）中部的中心进水管（10）相连，循环冷却通道（16）的出口则与旋转轴（13）内的出水通道（11）相连。

2.根据权利要求1所述的旋转吊装平面靶，其特征在于：所述平面靶体（14）内部的磁极板（18）与溅射靶材（15）之间设置有冷却腔（20），所述磁极板（18）内的循环冷却通道（16）的下部与冷却腔（20）相连，且冷却腔（20）的上部与循环冷却通道（16）的出口相连。

3.根据权利要求1所述的旋转吊装平面靶，其特征在于：所述与旋转轴（13）相连的回转驱动机构，包括设置在真空室顶壁（1）外侧支撑座（2）上的旋转气缸（3），旋转气缸（3）的气缸转轴（4）上设置有主动齿轮（5），主动齿轮（5）与所述旋转轴（13）上设置的从动齿轮（9）相啮合。

4.根据权利要求1所述的旋转吊装平面靶，其特征在于：所述平面靶体（14）上端设置的旋转轴（13）的顶部外壁上，布置有水密封油封（8）。

5.根据权利要求1所述的旋转吊装平面靶，其特征在于：所述平面靶体（14）外侧设置的筒状固定屏蔽（17）的材料为不锈钢。

6.根据权利要求1所述的旋转吊装平面靶，其特征在于：所述平面靶体（14）内部设置的磁极板（18）的材料为纯铁或低碳钢。